パルスレーザ成膜(PLD)
当社独自の高出力エキシマレーザを使ったパルスレーザ成膜(PLD)を実行してください。
- 化学量論的に優れたパルスレーザ成膜(PLD) 当社の堅牢なCOMPexレーザを使用することで、パルスレーザ成膜(PLD)の化学量論的に優れた結果を得ることができます。
- 大面積パルスレーザ成膜(PLD) 当社の高出力LEAPレーザにより、広範囲の高性能薄膜を実現します。
- 3シフトパルスレーザ成膜(PLD) 当社のエキシマレーザは長稼働時間、長寿命を実現しています(現場実証済み)。

高温超電導(HTS)テープ
エキシマレーザベースのパルスレーザ成膜(PLD)は、希土類バリウム銅酸化物(REBCO)膜を多層HTSテープに必要な品質で製造できる、唯一実証済みの量産方法です。

5G用無線周波数フィルター
エキシマレーザによるパルスレーザ成膜(PLD)により、RFフィルター用の圧電スカンジウムドープ窒化アルミニウム(Sc: AlN)薄膜が得られ、5G以降に必要な圧電応答と高周波数RF特性が得られます。

ダイヤモンドライクカーボン(DLC)層
エキシマレーザは、水素を含まないDLC層を低温PLD加工方法で形成し、エキシマレーザアニーリングを介して様々な素材に対する良好な接着性を確保できます。

薄膜アブレーションウェハ
エキシマレーザパルスレーザ成膜(PLD)により、MEMS、半導体、太陽光発電、有機ELディスプレイに使用される、より複雑で結晶性の高い薄膜をより大きなウェハ(最大300 mm)上に形成することができます。

固体薄膜バッテリー
パルスレーザ成膜(PLD)により、密度や化学量論的組成を調整可能でナノメートルレベルの厚み精度を持つ、負極および正極材料を含む高度な固体電解質を得ることができます。

透明導電性酸化物
(PLD)により、高感度な有機物層上に高均一な透明電極を徐々に成膜することで、バッファフリーの半透明ペロブスカイト太陽電池を実現することができます。

ビデオスポットライト:
エンスヘーデ、Solmatesの薄膜装置用高出力エキシマレーザ
オランダのエンスヘーデにあるSolmates社のArjen Janssens氏らは、高出力のLEAPシリーズエキシマレーザを使用して、将来のチップ設計の開発と新しい薄膜材料の統合に重要な役割を果たす革新的なパルスレーザ蒸着装置を開発しています。 薄膜産業におけるレーザ技術の詳細をご覧ください。
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