脉冲激光沉积 (PLD)

使用 PLD,借助我们独特的强大准分子激光器快速创建多种不同类型的薄膜。

  • 化学计量薄膜 依靠我们稳定的准分子激光器来获得具有总厚度控制的化学计量层。
  • 更快的沉积 利用我们的准分子激光器的高脉冲能量,更快地生产大面积薄膜。
  • 三移 PLD 使用我们激光器久经考验的正常运行时间和可靠性,您可以 24/7 全天候运行您的生产流程。
Pulsed Laser Deposition
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多功能沉积

越来越多的技术和行业依赖于薄膜,包括 OLED 显示屏、MEMS、半导体、光伏、医疗传感器、移动电话和先进电池。PLD 通常是首选的生产方法,因为它适用于类金刚石碳(DLC)、钙钛矿、压电材料和高温超导体(HTS)等多种材料。在所有这些情况下,我们的准分子激光器使 PLD 能够实现高速、精确的深度控制和高保真化学计量。

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产品应用

视频聚焦:

恩斯赫德 Solmates 公司利用高功率准分子激光器开发薄膜设备

凭借高功率 LEAP 系列准分子激光器,荷兰恩斯赫德 Solmates 公司的 Arjen Janssens 和其同事开发了创新型脉冲激光沉积设备,这将在未来芯片设计的开发和新薄膜材料的集成中发挥关键作用。了解有关薄膜行业中激光技术应用情形的更多信息。

 

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