イオンインプラント
イオンインプラント装置のディスク再生とコーティング
Coherentのディスク再生およびコーティングサービスにより、イオンインプラントツールの寿命を延ばし、所有コストを削減して、性能を向上させることができます。
Coherentは、あらゆるイオンインプラントディスクやヒートシンクの修理、改修、再製造に対応できる幅広い能力を備えています。これには、1970年代後半から現在までに製造されたバッチ処理式イオンインプラント装置のすべてのメーカーとモデルが含まれます。
主な機能
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It All Adds Up Our industry-leading innovations enable a 2x lifetime improvement, a 99% decrease in wafer chipping, a 50% decrease in metals contamination, an 80% decrease in fence “wear-grooving” particle generation, and a 30% average cost-of-ownership savings. |
High-Performance Coatings The Coherent low-temperature elastomer pedestal and heat sink coating increases wafer cooling, boosts productivity, and improves pad-to-pad wafer temperature uniformity. |
Torlon Fence Assemblies Utilize high wear resistance Torlon to dramatically improve fence and disk lifetime, substantially decrease wafer chipping, cut fence wear-grooving, and lower metals contamination. |
 改良されたフェンス設計 Coherentの高精度スクリューインベアリングフェンス設計は、長寿命で非対称フェンス摩耗がなく、OEM圧着ポジション部品で発生するパーティクルトラップを排除します。 |
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