主な機能
It All Adds Up Our industry-leading innovations enable a 2x lifetime improvement, a 99% decrease in wafer chipping, a 50% decrease in metals contamination, an 80% decrease in fence “wear-grooving” particle generation, and a 30% average cost-of-ownership savings. |
High-Performance Coatings The Coherent low-temperature elastomer pedestal and heat sink coating increases wafer cooling, boosts productivity, and improves pad-to-pad wafer temperature uniformity. |
Torlon Fence Assemblies Utilize high wear resistance Torlon to dramatically improve fence and disk lifetime, substantially decrease wafer chipping, cut fence wear-grooving, and lower metals contamination. |
![]() 改良されたフェンス設計 Coherentの高精度スクリューインベアリングフェンス設計は、長寿命で非対称フェンス摩耗がなく、OEM圧着ポジション部品で発生するパーティクルトラップを排除します。 |
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