レーザ
LAMBDA SX
生産現場向けの産業用UVエキシマレーザです。安定した高エネルギーパルスにより、安定したビームで大面積のUV加工に対応します。
微細加工、高度な半導体パッケージング、パルスレーザ成膜(PLD)による機能性フィルムの作成、レーザリフトオフ（LLO）、UV LIDAR、エキシマレーザアニーリング（ELA）など、アプリケーションの精度とスループットを最大化します。
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