レーザ

LAMBDA SX


生産現場向けの産業用UVエキシマレーザです。安定した高エネルギーパルスにより、安定したビームで大面積のUV加工に対応します。

微細加工、高度な半導体パッケージング、パルスレーザ成膜(PLD)による機能性フィルムの作成、レーザリフトオフ(LLO)、UV LIDAR、エキシマレーザアニーリング(ELA)など、アプリケーションの精度とスループットを最大化します。 


LAMBDA SX:主なパフォーマンス指標

高出力、高パルスエネルギー、加工を可能にするパルス繰返周波数の独自の組み合わせを活用できます。

 

製品仕様

モデル名 波長(nm) 最大パルス繰返周波数(Hz) 最大パルスエネルギー(mJ) 最大出力(W)
LAMBDA SX C600 308 600 1000 600
LAMBDA SX E500 500 500