レーザ

COMPex


この強力で汎用性が高く頼りになるUIレーザは、要求の厳しいアプリケーション向けに、数百mJのパルスエネルギーを高パルス間安定性および優れたビーム均一性とともに提供します。

COMPexは、汎用性の高いエキシマレーザのパフォーマンスと寿命の標準です。パルスレーザ成膜(PLD)、ウェハ剥離、レーザリフトオフ(LLO)、固体サンプリング(LA-ICP-MS)、ワイヤストリッピング、FBGライティングなど、要求の厳しいアプリケーションで優れた結果をもたらします。 


COMPexの主な性能パラメーターの概要

コンパクトで組み込みが容易な単相電源のエキシマレーザ。 最大繰返周波数は10~100Hzの範囲で、最大パルスエネルギーは750mJまで選択できます。

製品仕様

モデル名 出力レーザ波長(nm) 最大 パルス周波数(Hz) 最大 パルスエネルギー(mJ) 最大 出力(W)
COMPex F2 157 50 32 1.6
COMPex 50 193 50 100 4
COMPex 102 20 240 4.8
COMPex 110 100 240 12
COMPex 201 10 400 4
COMPex 205 50 400 15
COMPex F2 50 400 15
COMPex 50 FBG 248 100 140 12
COMPex 50 50 150 7
COMPex 102 20 400 8
COMPex 110 100 400 30
COMPex 201 110 750 7.5
COMPex 205 50 750 33
COMPex 102 308 20 250 5
COMPex 110 100 250 16
COMPex 201 10 500 5
COMPex 205 50 500 20
COMPex 102 351 20 200 4
COMPex 110 100 200 12
COMPex 201 10 300 3
COMPex 205 50 300 15