EUVおよびアト秒パルス発生
エンジンとしてCEP安定化パルスを使用して、EUVアト秒パルスを発生します。
- 唯一のゼロからのCEPソース 同じ会社によるCEP安定化発振器、増幅器、およびポンプ。
- パワフルでシンプル 極低温冷却やパルスの再形成なしで最大15Wの出力が得られます。
- 産業の専門知識から利益を得る HALT/HASSはポンプレーザと発振器をテストしました。

出力と精度
分離されたアト秒パルスと効率的なEUV生成には、短いパルスとCEP安定化が必要です。 Legend Elite CEPはその両方を提供します。

最も厳しいCEP制御
実績のある回生増幅器と、統合された非線形干渉計および位相制御フィードバックループの理想的な組み合わせを入手してください。

ワンボックスの便利さ
CEPが必要ない場合は、Astrellaの高出力で短いパルスにより、HHG生成とアト秒バンチ生成が最適化されます。

リソースリスト
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