PLD (Pulsed Laser Deposition)
PLD를 사용하여 독특하고 강력한 엑시머 레이저로 다양한 유형의 필름을 빠르게 만듭니다.
- 화학량론적 필름 당사의 안정적인 엑시머 레이저를 이용하여 전체 두께 제어가 가능한 화학량론적 레이어를 확보합니다.
- 더 빠른 증착 당사의 엑시머 레이저의 높은 펄스 에너지로 넓은 면적의 필름을 더 빠르게 생산합니다.
- 3 시프트 PLD 당사 레이저의 검증된 가동시간과 신뢰성 덕분에 연중무휴 생산이 가능합니다.
다목적 증착
OLED 디스플레이, MEMS, 반도체, 광전지, 의료용 센서, 휴대폰 및 고급 배터리 등 점점 더 다양한 기술과 산업 분야가 박막 필름을 이용하고 있습니다. PLD는 다이아몬드형 탄소(DLC), 페로브스카이트, 압전소자 및 고온 초전도체(HTS)와 같은 다양한 소재와 효과적으로 작동하므로 자주 선택되는 생산 방법입니다. 이 모든 경우에 당사의 엑시머 레이저는 고속, 정밀한 깊이 제어 및 고충실도의 화학양론으로 PLD를 구현합니다.
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제품 응용 분야
PLD 제품
비디오 스포트라이트:
엔스헤데에 있는 Solmates의 박막 필름 장비용 고출력 엑시머 레이저
네덜란드 엔스헤데에 위치한 Solmates의 Arjen Janssens와 동료들은 고출력 LEAP 시리즈 엑시머 레이저를 사용하여 미래형 칩 설계 개발 및 박막 필름용 신소재 통합에 핵심적인 역할을 할 혁신적인 펄스 레이저 증착(PLD) 장비를 개발하고 있습니다. 박막 필름 산업에서 사용되는 레이저 기술에 대해 자세히 알아보십시오.
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