レーザマシンとシステム
VarioLas
強力なCOMPexエキシマレーザをベースとしたシステムは、ラインビームまたはスクエアビームフィールド形状による高品質UV微細加工のための柔軟なツール。
優れた光学設計、強固な機械構造、パルス間安定性に優れたエキシマレーザにより、精密な加工が可能です。 レーザリフトオフ（LLO）分離、ドーパントイオンの活性化、アブレイティブパターニング、薄膜レーザアニーリングなどの用途があります。
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