レーザマシンとシステム

VarioLas


強力なCOMPexエキシマレーザをベースとしたシステムは、ラインビームまたはスクエアビームフィールド形状による高品質UV微細加工のための柔軟なツール。

優れた光学設計、強固な機械構造、パルス間安定性に優れたエキシマレーザにより、精密な加工が可能です。 レーザリフトオフ(LLO)分離、ドーパントイオンの活性化、アブレイティブパターニング、薄膜レーザアニーリングなどの用途があります。


VarioLas - 主なパフォーマンス指標

VarioLasの高エネルギー密度(最大7.5J/cm2)と100Hzのパルス繰返周波数により、正確なアブレーションまたは材料変形が可能です。

 

製品仕様

パラメーター  

VarioLas Eco 

VarioLas Pro 

VarioLas Sweep 

フィールド形状 

正方形  

正方形  

線  

フィールドサイズ(mm2 

2 x 2 

2 x 2 

50 x 0.6 

光学分解能(µm) 

30 

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