Lasermaschinen und Systeme
VarioLas
Systeme auf Basis des leistungsstarken COMPex Excimer-Lasers sind flexible Werkzeuge für die hochwertige UV-Mikromaterialbearbeitung mit einem Linienstrahl oder einer quadratischen Strahlfeldform.
Überlegenes optisches Design, robuste Mechanik und ein Excimer-Laser mit unübertroffener Puls-zu-Puls-Stabilität liefern präzise Ergebnisse. Zu den Anwendungen gehören die Laser-Schichtseparation (LLO), die Dotierstoffionenaktivierung, die ablative Strukturierung und das Dünnschichtglühen.
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VarioLas – Wichtige Leistungskennzahlen
Mit der hohen (bis zu 7,5 J/cm2) Energiedichte und 100 Hz Pulswiederholfrequenz von VarioLas erhalten Sie präzise Abtrags- oder Materialmodifikationsergebnisse.
Produktspezifikationen
Parameter |
VarioLas Eco |
VarioLas Pro |
VarioLas Sweep |
Feldform |
Quadratisch |
Quadratisch |
Linie |
Feldgröße (mm2) |
2 x 2 |
2 x 2 |
50 x 0,6 |
Optische Auflösung (µm) |
30 |
5 |
– |
