레이저 머신 및 시스템
VarioLas
강력한 COMPex 엑시머 레이저를 기반으로 하는 시스템은 라인 빔 또는 사각 빔 필드 모양을 사용하여 고품질 UV 미세 처리를 위한 유연한 도구입니다.
탁월한 광학 설계, 견고한 역학 및 탁월한 펄스 대 펄스 안정성을 갖춘 엑시머 레이저가 정밀한 결과를 제공합니다. 응용 분야에는 LLO(Laser Lift-Off) 분리, 도펀트 이온 활성화, 절제 패터닝 및 박막 어닐링이 포함됩니다.
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