激光系统

VarioLas


基于功能强大的 COMPex 准分子激光器的系统是灵活的工具,适用于对线光束或方形光束场形状进行高质量紫外光微加工。

卓越的光学设计、牢固的结构和具有无与伦比的脉冲间稳定性的准分子激光器可提供精确的效果。 应用包括激光剥离 (LLO) 分离、掺杂剂离子活化、烧蚀制图和薄膜退火。


VarioLas – 一些关键性能指标

借助 VarioLas 的高(高达 7.5 J/cm2)能量密度和 100 Hz 脉冲重复频率,获得精确的烧蚀或材料改性结果。

 

产品规格

参数 

VarioLas Eco 

VarioLas Pro 

VarioLas Sweep 

场形状 

方形  

方形  

线  

场尺寸 (mm2) 

2 x 2 

2 x 2 

50 x 0.6 

光学分辨率 (µm) 

30 

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