レーザマシンとシステム

UVtransfer

UVtransferレーザシステムは、次世代microLEDディスプレイの製造における専用アプリケーションをサポートしています。

プロセス開発とパイロットライン用のUVtransfer 3-in-1システムは、非常に高い柔軟性でレーザリフトオフ(LLO)、レーザ誘起前方移動(LIFT)、ピクセル修復/トリミングを実行します。UVtransferシステムは、最高のスループットと歩留まりを備えた完全自動化されたLIFTツールで、microLEDディスプレイの生産を産業規模にまで高めています。UVtransfer Rシステムは、優れた高速かつ効率的な方法で除去および再充填加工を行うプロフェッショナルなターンキーソリューションです。 

UVtransfer - 概要

高性能システムは、比類のない精密を提供し、広いフィールドサイズを使用する高スループットのための高エネルギー248 nm UVレーザを搭載しています。 

 

 

主な特徴 メリット UV転写
3 in 1システム
- R&Dツールとテクノロジー イネーブラー
UV転写

- 大量生産LIFT ツール
UVtransfer R

- 量産修理 ツール

完全な自動化と24時間365日 の使用

 産業規模での大量生産

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多機能

 1回の投資で3つのプロセスを調査、最適化、 検証

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大きなフィールドのサイズとステージコンセプトの 進化

高いスループットと 優れたシステム効率

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50μmから5μm までのあらゆるダイサイズに対応

将来を見据えた技術。

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実績のあるエキシマレーザ光源

技術的なリスクを排除します。

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(COMpex 102)

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(LEAP 300)

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(IndyStar 1Hz)

深紫外線

ほぼすべての 材料に対応。

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Fab統合

工場 ネットワークを介した完全なシステム制御、業界 4.0 対応

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統合診断

高度な加工 安定性と信頼性 

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