레이저 머신 및 시스템

UVtransfer

UVtransfer 레이저 시스템은 차세대 microLED 디스플레이 생산에 대한 전용 응용 분야를 지원합니다.

공정 개발 및 파일럿 라인 사용을 위한 UVtransfer 3-in-1 시스템은 매우 높은 유연성으로 LLO(레이저 리프트 오프), LIFT(레이저 유도 순방향 전달) 및 픽셀 수리/트리밍을 수행합니다. UVtransfer 시스템은 microLED 디스플레이의 생산을 산업 규모로 늘리는 처리량과 수율을 극대화하는 완전 자동화된 LIFT 도구입니다. UVtransfer R 시스템은 빠르고 효율적인 방식으로 제거 및 리필 공정을 수행하는 전문 턴키 솔루션입니다. 

UVtransfer - 개요

고성능 시스템은 탁월한 정밀도를 제공하며 큰 필드 크기를 사용하는 고처리량용 고에너지 248nm UV 레이저로 구동됩니다. 

 

 

주요 기능 혜택 UV 전달
3 in 1 시스템
- R&D 도구 및 기술  지원
UV 전달

- 양산 리프트  도구
UV 전달 R

- 양산 수리  도구

완전 자동화 및 연중무휴  사용

 산업 규모의 대량 생산

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다기능성

 단일 투자로 세 가지 프로세스를 조사, 최적화 및  검증

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대규모 필드 크기 및 단계 개념  향상

높은 처리량과  뛰어난 시스템 효율성

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50에서 5μm 까지 모든 다이 크기 지원

미래 지향적 기술.

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입증된 엑시머 레이저 소스

기술적 위험을 제거합니다.

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(COMpex 102)

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(LEAP 300)

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(IndyStar 1Hz)

깊은 UV

거의 모든  재료와 호환됩니다.

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Fab 통합

공장  네트워크를 통한 완전한 시스템 제어, 산업 4.0 지원

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통합 진단

높은 수준의 공정  안정성 및 신뢰성 

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