レーザ

VYPER


1~マルチkWのVYPERプラットフォームは、大量のディスプレイ生産に求められる非常に高いスループットを実現します。

キロワットUV出力が、高スループットの製品を可能にします。 比類のないエネルギー安定性が、高い歩留まりをお約束します。 VYPERのすべてのモデルは、長軸のLineBeamオプティクスと完全に統合できます。


VYPER – 主なパフォーマンス指標

世界最高レベルの強力なエキシマレーザから非常に高いパルスエネルギーと優れたエネルギー安定性を得られます。 VYPERは最大6本のレーザビーム出力を内部で結合します。

製品仕様

モデル名 出力レーザ波長(nm) 最大 パルス周波数(Hz) 最大 パルスエネルギー(mJ) 最大 出力(W)
VYPER  308 600 2000 1200
TwinVYPER 4000 2400
TriVYPER 6000 3600