激光系统

UVtransfer


适用于 MicroLED 工艺开发和试点产品线应用的独特三合一系统,可执行激光剥离 (LLO)、巨量转移 (LIFT) 像素修复。

紫外光转移工艺可提供自动化、精度和通量来转移数亿个用于大型显示屏的芯片,并实现其经济可行性。 我们强大的准分子激光器可提供高吞吐量,这些激光器在显示屏行业的低温多晶硅 (LTPS) 退火中得到了长期验证。


UVtransfer - 概述

该系统构建于花岗岩运动模块,可提供无与伦比的精度,并基于高能 248 nm 紫外光激光,使得大型显示尺寸实现高吞吐量。

 

产品规格

关键特性

优势

三合一多功能

一次投资即可研究、优化和验证三个流程。

大型场尺寸 – 高达 16 x 2 mm2

高吞吐量。

支持所有芯片尺寸,从 50 µm 到 5 µm

面向未来的技术。

久经验证的准分子激光源

消除技术风险。

深紫外光

与所有芯片材料兼容。

用户友好的软件自动化

无需经过大量培训即可轻松设置和优化。