激光系统

UVtransfer

适用于 MicroLED 工艺开发和试点产品线应用的独特三合一系统，可执行激光剥离 (LLO)、巨量转移 (LIFT) 和像素修复。

紫外光转移工艺可提供自动化、精度和通量来转移数亿个用于大型显示屏的芯片，并实现其经济可行性。我们强大的准分子激光器可提供高吞吐量，这些激光器在显示屏行业的低温多晶硅 (LTPS) 退火中得到了长期验证。

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UVtransfer - 概述

该系统构建于花岗岩运动模块，可提供无与伦比的精度，并基于高能 248 nm 紫外光激光，使得大型显示尺寸实现高吞吐量。

数据表

UVtransfer

产品规格

关键特性	优势
三合一多功能	一次投资即可研究、优化和验证三个流程。
大型场尺寸 – 高达 16 x 2 mm²	高吞吐量。
支持所有芯片尺寸，从 50 µm 到 5 µm	面向未来的技术。
久经验证的准分子激光源	消除技术风险。
深紫外光	与所有芯片材料兼容。
用户友好的软件自动化	无需经过大量培训即可轻松设置和优化。