レーザマシンとシステム

LineBeam


LineBeamシステムは、高い生産力で大きな下地パネルのLTPSバックプレーンを大量製造するための実現光学技術。 

最大Gen 10.5のパネルサイズに対応した最大1500 mm長のラインビームプロファイルを提供します。 短長軸ビームの強度が均一で、スループットとビーム利用を最大化します。 優れたパルス安定性と高い被写界深度が、大きなプロセスウィンドウを実現します。


LineBeam - 主なパフォーマンス指標

LineBeamはビームがシルクハット形分布なので、すべて308 nmの短波長ながら、短長軸の両方で優れた均一性を実現します。

 

製品仕様

パラメータ

数値

ライン長(mm)

750 

1000 

1300

1500

ビームプロファイルの種類 

両軸に沿ってシルクハット形分布 

焦点深度(µm)

±150 

±120

±120 

±120

長軸ビームの強度均一性(%)

0.6(2σ) 

短軸ビームの強度均一性(%)

0.8(2σ)