レーザマシンとシステム

PowerLine AVIA NX


ウェハ、SIP、パッケージ、PCBなどの切断、ドリリング、スクライビングに使っている、既存のハンドリングシステムへの組み込みが可能な高出力紫外線レーザカッター。

長寿命の紫外線AVIAレーザとガルバノスキャナー、オプティクス、ソフトウェアが統合された高精度レーザツール。UV波長とナノ秒パルス幅により、熱影響を受けるゾーン(HAZ)を最小限に抑えた精密な微細加工が可能です。


PowerLine AVIA NX – 主なオプションとパラメータ

最大300 mmウェハまたはPCBに対応できるスキャナーのメリットを得られます。 高速フォーカスモジュール、内蔵出力メータ、TTL(スルーザレンズ)アライメントなどのオプションがあります。  

製品仕様

レーザソース

レーザ出力

パルス繰返周波数

パルス幅

パルス間安定性

AVIA NX 20-355 

20 W 

1〜250 kHz 

<30 ns 

<5%(rms) 

AVIA NX 40-355 

40 W 

1〜300 kHz 

<35 ns