レーザ

IndyStar


193 nmまたは248 nmの波長で最大2 kHzのパルス繰返周波数のアプリケーション用に設計された、堅牢で高デューティサイクルの産業用エキシマレーザをご用意しました。

信頼性、耐久性、使いやすさ、そして高度なパルス制御を実現した生産ラインツールです。 IndyStarレーザは、インクジェットノズルの穴あけ、計測、光学試験などに広く使用されています。 フォトマスク検査や関連アプリケーションで使用されるSemi-S2準拠のレーザです。


IndyStarの主な性能指標の概要

193 nmまたは248 nmの波長、最大2 kHzの繰返周波数、最大12ワットの出力で動作します。 

モデル名 波長 (nm) 最大パルス繰返周波数(Hz) 最大パルスエネルギー(mJ) 最大出力(W)
IndyStar 1 kHz 193 1000 8 8
IndyStar 2 kHz 2000 4
IndyStar 1 kHz 248 1000
12
12
IndyStar 2 kHz 2000 6