激光器

IndyStar


坚固耐用的高占空比工业准分子激光器,专为 193 nm 或 248 nm 波长下高达 2 kHz 的脉冲重复频率应用而设计。

该生产线工具具备可靠性、长使用寿命、易用性和先进的脉冲控制优势。 IndyStar 激光器广泛用于喷墨嘴钻孔、测量和光学测试。 符合 Semi-S2 标准,可用于掩膜板检测和相关应用。


IndyStar 关键性能指标概述

在 193 nm 或 248 nm 下运行,重复频率高达 2 kHz,功率高达 12 W。 

型号名称 波长 (nm) 脉冲频率上限 (Hz) 脉冲能量上限 (mJ)  功率上限 (W)
IndyStar 1 kHz 193 1000 8 8
IndyStar 2 kHz 2000 4
IndyStar 1 kHz 248 1000
12
12
IndyStar 2 kHz 2000 6