레이저

IndyStar

IndyStar Product Image

193~248nm 파장에서 최대 2kHz 펄스 반복 속도 용도에 적합하도록 설계된 견고한 고성능 사이클 산업용 엑시머 레이저를 확보합니다.

신뢰성, 수명, 사용 용이성 및 고급 펄스 제어를 제공하는 생산 라인 도구. IndyStar 레이저는 잉크젯 노즐 드릴링, 계측 및 광학 테스트에 널리 사용됩니다. 포토마스크 검사 및 관련 용도에 사용하기 위한 Semi-S2 호환.

주요 IndyStar 성능 지표 개요

최대 2kHz의 반복률에서 작동하며, 최대 12W의 전력을 공급합니다. 

데이터 시트
모델명 파장(nm) 최대 펄스 주파수(Hz) 최대 펄스 에너지(mJ) 최대 출력(W)
IndyStar 1kHz 193 1000 8 8
IndyStar 2kHz 2000 4
IndyStar 1kHz 248 1000
 12
 12
IndyStar 2kHz 2000 6

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