一般光学系
マイクロレンズアレイ
当社の1次元または2次元のマイクロレンズアレイ (MLA) を使用して、非常にコンパクトなコリメーションおよび集束システムを作成してください。
Coherent MLAは通常、個々のレンズレットが正方形または六角形の周期パターンに配置され、レンズピッチが数百マイクロメートルで構成されます。ナノインプリンティング、フォトリソグラフィー、ガラスモールドを使用して製造できます。
By providing your information and clicking ‘Subscribe’, you opt-in to receiving periodic email marketing communications from Coherent Corp. and understand that your personal data will be processed in accordance with our Privacy Policy and that our Terms apply. You may opt-out of marketing emails sent by us at any time by clicking the unsubscribe link in any marketing email you receive.
マイクロレンズアレイの機能
Coherentは、さまざまな材料でさまざまな構造のMLAを製造できます。近赤外MLAの大量生産は、6インチのSiウェーハ上で実現できます。
シリコンマイクロレンズアレイの仕様
材料仕様 |
|
材料 |
シリコン |
反射率 |
≈ 3.42 |
透明性 |
R < 0.2% T >99% @ 1260～1340 nm |
製造仕様 |
|
直径 |
600 ± 5 μm |
厚さ |
400 ± 10 μm |
ピッチ |
750 ± 1 μm |
クリア開口部 |
>510 nm |
曲率半径 |
3.0 mm |
円錐曲線 |
0 |
表面粗さ |
< 5 nm RMS |
レンズ面形状のずれ |
< 35 nm RMS |
表面品質 |
スクラッチ/ディグ:5/1 x 0.025 (ISO 10110-7準拠) |
チッピング |
< 100 μm |
エッジの垂直性 |
90 ± 2° |
関連製品
注目のブログ
CoherentとNIF: 核融合エネルギー源の実現
Coherentカスタムオプティクスは、太陽の動力源である核融合を作り出すために使用される巨大なレーザシステムの一部にすぎません。
光学製品の製造能力
Coherentの材料成長、製造、コーティング、組み立て、厳格な品質保証の垂直統合能力についてご紹介します。 光学部品の性能と信頼性を保証し、サプライチェーンのリスクと不確実性を最小限に抑える方法をご覧ください。
