Allgemeine Optiken

Mikrolinsen-Arrays

Erstellen Sie hochkompakte Kollimations- und Fokussierungssysteme mit unseren ein- oder zweidimensionalen Mikrolinsen-Arrays (MLAs).

Bei MLAs von Coherent sind die einzelnen Linsen typischerweise in einem quadratischen oder sechseckigen periodischen Muster angeordnet, mit einem Linsenabstand von einigen hundert Mikrometern. Sie können durch Nanoimprinting, Photolithographie und Glasformung hergestellt werden.

Fähigkeiten von Mikrolinsen-Arrays

Coherent kann MLAs mit einer Vielzahl von Strukturen in verschiedenen Materialien herstellen. Die Großserienproduktion von Nahinfrarot-MLAs kann auf 6-Zoll-Si-Wafern durchgeführt werden. 

Spezifikationen von Silizium-Mikrolinsen-Arrays 

Materialspezifikationen

Material

Silizium

Reflektierender Index

≈ 3,42

Transparenz

R < 0,2 % T >99 % bei 1.260 – 1.340 nm

Herstellungsspezifikationen

Durchmesser

600 ± 5 μm

Dicke

400 ± 10 μm

Pitch

750 ± 1 μm

Transparente Apertur

>510 nm

Krümmungsradius

3,0 mm

Konisch

0

Oberflächenrauigkeit

<5 nm RMS

Abweichung des Linsenoberflächenprofils

<35 nm RMS

Oberflächenqualität

Kratzen-Bohren: 5/1x0,025 basierend auf ISO 10110-7

Zerspanung

< 100 μm

Kantenvertikalität

90 ± 2°