精密な材料加工を飛躍的に向上

Coherent HyperRapid NXT 266は、世界初の産業用深紫外、ピコ秒レーザで、5 μmという極小精度の製造ができます。

2023年4月18日、Coherent

新しいCoherent HyperRapid NXT 266は、ガラス、ポリマー、半導体などの材料に5 μm程度の穴、溝、貫通孔などの構造物をアブレーションすることができます。ピコ秒領域の超短パルス（USP）出力、266 nmの波長、10 Wの平均出力の組み合わせにより、このレーザにより、これまでにない深さ制御と熱影響部のほとんどない確実な材料加工ができます。さらに、最大5kHzの繰り返し周波数とHyperRapid NXT 266の比類なき信頼性により、ダウンタイムを最小限に抑えたハイスループット生産をサポートします。

HyperRapid NXT 266は、有機フィルムの切断に使用した場合、熱影響部がほとんど発生せず、HyperRapid NXT 355で達成した優れた結果をさらに上回る結果をもたらします。

HyperRapid NXT 266で達成できる驚異的な精度は、これまで不可能であった、あるいはコスト、プロセス時間、環境特性が望ましくない化学エッチングなどの他の方法に依存していた精密微細構造化作業の多くを実現します。ディスプレイ、有機エレクトロニクス、半導体IC、量子コンピュータ用導波路、メディカル用インプラント、生体分析装置組込みなどの製造工程が含まれます。

Coherentは、このベンチマーク製品を、同社独自の2つの能力に基づいて実現しました。 1つは、レーザが本来出力する赤外線の周波数を4倍にして、波長266 nmの深紫外線にするために、社内で優れた品質の非線形結晶を成長させてコーティングすることができることです。 HyperRapid NXT 266の出力レベルで動作し、5,000時間の寿命を保証する非線形結晶を一貫して製造できる企業は他にありません。

2つ目のポイントは、Coherentの深紫外レーザの製造における豊富な経験です。そのため、クリーンルームの製造設備や、レーザで最終パッケージングまでのクリーン度を維持する製造ワークフローや組み立て方法が必要です。