일반 광학
마이크로 렌즈 어레이
당사의 1차원 또는 2차원 마이크로 렌즈 어레이(MLA)를 사용하여 초소형 콜리메이션 및 초점 시스템을 만드십시오.
Coherent MLA는 일반적으로 수백 마이크로미터의 렌즈 피치를 포함하여 정사각형 또는 육각형 주기 패턴으로 배열된 개별 렌즈렛으로 구성됩니다. 나노임프린팅, 포토리소그래피, 유리 성형을 사용하여 제작할 수 있습니다.
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마이크로 렌즈 어레이 기능
Coherent는 다양한 재료를 사용하여 다양한 구조의 MLA를 생산할 수 있습니다. 6인치 Si 웨이퍼에서 근적외선 MLA의 대량 생산을 달성할 수 있습니다.
실리콘 마이크로 렌즈 어레이 사양
소재 사양 |
|
재료 |
실리콘 |
반사 굴절률 |
≈ 3.42 |
투명도 |
R<0.2% T>99%(1,260~1,340nm) |
제조 사양 |
|
직경 |
600±5μm |
두께 |
400±10μm |
피치 |
750±1μm |
투명 조리개 |
>510nm |
곡률 반경 |
3.0mm |
원추형 |
0 |
표면 거칠기 |
<5nm RMS |
렌즈 표면 프로파일 편차 |
<35nm RMS |
표면 품질 |
스크래치-디그: ISO 10110-7 기준 5/1x0.025 |
치핑 |
<100μm |
모서리 수직성 |
90±2° |
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