EIN QUANTENSPRUNG IN DER PRÄZISIONSMATERIALBEARBEITUNG

Der HyperRapid NXT 266 von Coherent ist der weltweit erste industrielle Deep-UV-Pikosekundenlaser, mit einer außergewöhnliche Präzisionsfertigung bis 5 µm.

18. April 2023 von Coherent

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Der neue HyperRapid NXT 266 von Coherent kann Löcher, Rillen, Schnitte und andere Strukturen mit nur 5 µm in Glas, Polymeren, Halbleitern und anderen Materialien formen. Die Kombination aus ultrakurzen Pulsen (Ultra-short Pulse, USP) im Pikosekundenbereich, 266 nm Wellenlänge und einer Durchschnittsleistung von 10 W ermöglicht die zuverlässige Materialbearbeitung mit einer beispiellosen Tiefenkontrolle und nahezu ohne Wärmeeinflusszone. Mit Wiederholraten bis 5 kHz und unübertroffener Zuverlässigkeit stellt der HyperRapid NXT 266 einen hohen Durchsatz und minimale Ausfallzeiten sicher. 

 

Organic Film Cutting

Beim Schneiden organischer Folien erzeugt der HyperRapid NXT 266 praktisch keine Wärmeeinflusszone und übertrifft damit die Leistung des HyperRapid NXT 355.

 

Dank der außergewöhnlichen Präzision eignet sich der HyperRapid NXT 266 für die Präzisionsmikrostrukturierung. Diese war früher nur mit Methoden wie dem chemischen Ätzen möglich, was zu hohen Kosten und langen Prozesszeiten führte und die Umwelt belastete. Eingesetzt wird der Laser etwa für die Herstellung von Displays, organischer Elektronik, Halbleitern, integrierten Schaltkreisen, Wellenleitern für Quantencomputer, medizinischen Implantaten und Bauteilen von bioanalytischen Instrumenten.

Für die Entwicklung dieses außergewöhnlichen Produkts hat Coherent zwei seiner einzigartigen Fähigkeiten genutzt. Zum einen ist das Unternehmen in der Lage, nichtlineare Kristalle von erstklassiger Qualität im eigenen Haus zu züchten und zu beschichten. Damit kann die Frequenz des ursprünglichen Infrarotausgangs des Lasers vervierfacht werden, um die tiefe ultraviolette Wellenlänge von 266 nm zu erzeugen. Kein anderes Unternehmen ist in der Lage, derart konsistent nichtlineare Kristalle auf dem Leistungsniveau des HyperRapid NXT 266 zu produzieren, mit einer garantierten Lebensdauer von 5.000 Einsatzstunden. 

Der zweite wesentliche Vorteil von Coherent ist seine umfassende Erfahrung bei der Herstellung von Deep-UV-Lasern. Die Laser werden in Reinraum-Fertigungsanlagen hergestellt. Angefangen von der Produktion über die Montage bis hin zur Verpackung der Laser wird auf makellose Sauberkeit geachtet. 

 

Glass Ablation

Mikrobeschriftung von Quarzglas (Strichstärke: ~ 8 µm, Durchsatz: 100 Zeichen/s). Der HyperRapid NXT 266 von Coherent mikrostrukturiert Materialien mit unübertroffener Präzision und minimaler Wärmeeinflusszone (Heat Affected Zone, HAZ).

 

Neben der hohen Leistung im Deep UV-Bereich bietet der neue Laser auch alle Funktionen der bisherigen Modelle der HyperRapid NXT-Serie. Hierzu gehören etwa die stabile DUV-Leistungsmodulation, Pulse-on-Demand und der Betrieb mit variabler Wiederholungsrate.

Erfahren Sie mehr über den HyperRapid NXT 266.