激光系统

LineBeam


LineBeam 系统是一种支持性光学技术,适用于在大型基板上大规模制造 LTPS 背板,良率极高。 

为高达 Gen 10.5 的面板尺寸提供长达 1500 mm 的线光束轮廓。 具有为实现产能和光束利用率最大化而设计的长短轴光束同质性。 出色的脉冲稳定性和深景深可确保提供较大的工艺窗口。


LineBeam – 一些关键性能指标

受益于 LineBeam 的顶帽光束轮廓,在短轴和长轴上均具有出色的同质性,全部均为 308 nm 的短波长。

 

产品规格

参数

线长度 (mm)

750 

1000 

1300

1500

光束分析器类型 

平顶双轴 

焦深 (µm)

±150 

±120

±120 

±120

长轴同质性 (%)

0.6 (2σ) 

短轴同质性 (%)

0.8 (2σ)