Lasermaschinen und Systeme

LineBeam


LineBeam Systeme sind die optische Schlüsseltechnologie für die Massenfertigung von LTPS-Backplanes auf großen Substratplatten mit höchster Ausbeute.

Liefern Sie Linienträgerprofile bis 1500 mm Länge für Plattengrößen bis Generation 10.5. Verfügen über Kurz- und Langachsen-Strahlhomogenität für maximalen Durchsatz und Strahlausnutzung. Hervorragende Pulsstabilität und hohe Tiefenschärfe, um ein großes Prozessfenster zu gewährleisten


LineBeam – Wichtige Leistungskennzahlen

Profitieren Sie vom Zylinderstrahlprofil von LineBeam mit hervorragender Homogenität sowohl in der kurzen als auch in der langen Achse bei einer kurzen Wellenlänge von 308 nm.

 

Produktspezifikationen

Parameter

Werte

Linienlänge (mm)

750 

1000 

1300

1500

Strahlprofiltyp

Zylinder entlang beider Achsen 

Fokustiefe (µm)

±150 

±120

±120 

±120

Homogenität lange Achse (%)

0,6 (2 σ) 

Achsenhomogenität kurze Achse (%)

0,8 (2 σ)