EUV 및 Atto-second Pulse 생성
CEP 안정화 펄스를 엔진으로 사용하여 EUV Atto-second Pulse를 생성합니다.
- 유일한 기초 CEP 소스 동일한 회사 한 곳에서 CEP 안정화 발진기, 증폭기 및 펌프를 일괄적으로 구입할 수 있습니다.
- 강력함과 단순함 극저온 냉각이나 펄스 재형성 없이 최대 15W를 얻을 수 있습니다.
- 산업 전문성의 이점 펌프 레이저 및 발진기의 경우 HALT/HASS 테스트를 거칩니다.
높은 출력과 정밀도
절연된 Atto-second Pulse와 효율적인 EUV 생성을 위해서는 짧은 펄스와 정밀한 CEP 안정화가 필요합니다. Legend Elite CEP는 이 두 가지를 모두 구현합니다.
최고 수준의 엄격한 CEP 제어
비선형 간섭계 및 위상 제어 피드백 루프가 통합된 입증된 재생 증폭기의 이상적인 조합을 얻을 수 있습니다.
단일 박스가 주는 편의성
CEP가 필요하지 않을 때 Astrella의 고출력, 짧은 펄스가 HHG 생성 및 Atto-second 묶음 생성을 최적화합니다.
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