レーザ
PYTHON
定義済みプロセスを維持しながら、この画期的な固体レーザでスループットを向上させ、ディスプレイ製造コストを削減します。
PYTHONは、低温ポリシリコンレーザアニーリング用のLD励起固体UVレーザです。卓越した信頼性と50%低い運転コストで、VYPERエキシマレーザのパルスエネルギー、繰り返し周波数、ビーム特性を再現します。
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PYTHON – 主なパフォーマンス指標
PYTHONの出力は複数のレーザを組み合わせることで拡大し、比類ないエネルギー安定性、最小限のメンテナンスダウンタイム、固体レーザの信頼性を提供します。
製品仕様
モデル |
出力レーザ波長（nm） |
最大繰り返し率（Hz） |
最大パルスエネルギー（mJ） |
最大出力（W） |
エネルギー安定性の和（σ, %） |
PYTHON |
355 |
600 |
2000 |
1200 |
≤ 0.25 |
TwinPYTHON |
4000 |
2400 |
≤ 0.20 |
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