레이저

LAMBDA SX

LAMBDA SX Product Image

안정적이고 높은 에너지 펄스를 통한 뛰어난 빔 안정성으로 대면적 UV 처리를 지원하며 생산 현장에 사용할 수 있는 산업용 UV 엑시머 레이저를 찾아보십시오.

미세 가공, 고급 반도체 패키징, 기능성 필름 생성(펄스 레이저 증착(PLD), 레이저 리프트오프(LLO), UV LIDAR, 엑시머 레이저 어닐링(ELA) 등을 통한)을 포함하여 정밀도와 처리량을 극대화합니다. 

LAMBDA SX 주요 성능 지표

고출력, 높은 펄스 에너지 및 프로세스 가능 펄스 반복률의 고유한 조합을 활용합니다.

 

데이터 시트

제품 사양

모델명 파장(nm) 최대 펄스 주파수(Hz) 최대 펄스 에너지(mJ) 최대 출력(W)
LAMBDA SX C600 308 600 1000 600
LAMBDA SX E500 500 500

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