レーザ

Azure NX


266 nmの連続発振が可能な小型の次世代型固体レーザです。そのプラットフォームは、半導体業界の産業環境に容易に組み込めるよう設計されています。

Azure NXは、単一周波数動作と絶対的な波長安定性が特徴です。 LANまたはWEB GUIによるハンズフリー操作が可能。最大1ワットのdeep-UV、狭線幅、24時間365日稼働の信頼性を兼ね備え、要求の厳しいアプリケーションに最適です。 

 


Azure NX 266-1000:主なパラメーター

この産業グレードの高性能266 nmレーザは、半導体検査、ラマン分光法、ファイバーブラッググレーティング(FBG)ライティング、リソグラフィなどに使用できます。 

製品仕様

モデル名

出力(W)

線幅(kHz)

 

ビーム位置(µrad)(能動安定化)

M2 

光ノイズ(%)

(10 Hz to 500 MHz)

Azure NX 266-1000 

<500 

20 

<1.3 

<0.5