ビーム整形モジュール

最大数kWの出力で利用可能なこれらのレーザからの線形や長方形のビーム光で、シリコンなどの素材のアニール処理または熱処理を行います。

半導体のウェハ不具合検出やアニール処理、プラスチック溶接、脱毛などの多様な用途向けに、高出力で均一性の高い、フリースペース出力ビーム光を提供します。

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伝導設計や水冷式設計、幅広い線形および長方形のビームサイズ形状、808 nm～1550 nmの波形、最大で数kWのオプションから選択できます。

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