Gepulste Laserabscheidung (PLD)
Nutzen Sie unsere einzigartig leistungsstarken Excimerlaser für die gepulste Laserabscheidung (PLD).
- Stöchiometrische PLD Verwenden Sie unsere robusten COMPex Laser für stöchiometrische PLD-Ergebnisse.
- Großflächen-PLD Unsere Hochleistungs-LEAP-Laser liefern großflächige Hochleistungsdünnschichten.
- Dreischicht-PLD Profitieren Sie von der Verfügbarkeit und Langlebigkeit unserer praxiserprobten Excimer-Laser.
Hochtemperatur-Supraleitende (HTS) Bänder
Die Excimer-basierte PLD ist die einzige bewährte Produktionsmethode, um Seltene Erden-Barium-Kupferoxid (REBCO)-Schichten mit der für mehrlagige HTS-Bänder erforderlichen Qualität herzustellen.
HOCHFREQUENZFILTER
FÜR 5G
Excimerlaser-PLD ermöglicht piezoelektrisches Scandium-dotiertes Aluminiumnitrid (Sc: AlN)-Dünnschichten für HF-Filter, die die für 5G und darüber hinaus erforderliche Piezo-Antwort- und Hochfrequenzeigenschaften liefern.
Diamantharte Karbon (DLC)-Schichten
Excimerlaser erzeugen wasserstofffreie DLC-Schichten in einem Niedertemperatur-PLD-Prozess und sorgen durch Excimerlaser Annealing für eine sehr gute Haftung auf unterschiedlichsten Materialien.
Dünnschicht-Wafer
Excimerlaser-PLD kann komplexere und kristallinere Dünnschichten auf größeren (bis zu 300 mm) Wafern zur Verwendung in MEMS, Halbleitern, Photovoltaik und OLED-Bildschirmen herstellen.
Festkörper-Dünnschichtbatterien
PLD liefert fortschrittliche Festelektrolyte, einschließlich Anoden- und Kathodenmaterialien, mit einstellbarer Dichte und Stöchiometrie sowie Dickengenauigkeit im Nanometerbereich.
Transparente leitfähige Oxide
(PLD) scheidet transparente Elektroden mit hoher Gleichmäßigkeit sanft über empfindlichen organischen Schichten ab und ermöglicht pufferfreie halbtransparente Perowskit-Solarzellen.
Video Spotlight:
Hochleistungs-Excimerlaser für Dünnschichtanlagen bei Solmates, Enschede
Mit Hilfe von Hochleistungs-Excimerlasern der LEAP-Serie, entwickeln Arjen Janssens und seine Kollegen bei Solmates in Enschede, Niederlande, eine innovative Anlage zur gepulsten Laserabscheidung die eine Schlüsselrolle bei der Entwicklung zukünftiger Chipdesigns und der Integration neuer Dünnschichtmaterialien spielen wird. Erfahren Sie mehr über Lasertechnologie in der Dünnschichtindustrie.
Ausgewählter Blog
Eine Innovation in der Herstellung von MicroLED-Bildschirmen
Die neuen UVtransfer-Systeme von Coherent revolutionieren die MicroLED-Fertigung mit Laser-Schichtseparation (LLO), Laser-induzierter Vorwärtsübertragung (LIFT) und Reparatur oder Trimmung.
Ressourcenliste
Großserienproduktion von supraleitendem Draht/Band mit einem Excimerlaser
S-Innovations (Moskau, Russland) lieferte das bisher größte Volumen an supraleitendem YbCO-Band, indem es einen Coherent LEAP 300C Excimerlaser für ihr gepulstes Laserabscheide-Verfahren (PLD) einsetzt.
Die LEAP Excimerlaser minimieren die tatsächlichen Kosten pro Laserwatt und ermöglichen eine kosteneffektive, hochvolumige Produktion von HTS-Draht bei S-Innovations.
Verstärkerstabilität ermöglicht in-situ-Untersuchungen der Polarisation eines ferroelektrischen Films
Sehen Sie, wie Forscher mit Coherent Astrella/TOPAS erfolgreich sowohl den Grad als auch die Richtung der Polarisation in Filmen von null bis 20 Einheitszellen (übliche Bedingungen) bestimmen konnten.
Die thermische Stabilität des Verstärkers ist entscheidend. Unsere Kammer läuft intern mit bis zu 950°C und heizt das Labor bei langen Experimenten deutlich auf. Die Leistung, die Strahlform und die Ausrichtung von Astrella bleiben von diesen Umgebungsänderungen unbeeinflusst.
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