Wir stellen Ihnen den COMPex F2 vor: Der leistungsstärkste VUV-Laser auf dem Markt
Unser neuester COMPex-Excimerlaser bietet eine duale Wellenlänge von 157 nm und 193 nm und ermöglicht so den Abtrag von harten und/oder transparenten Materialien.
08. März 2022 von Coherent
Heute stellen wir Ihnen das neueste Mitglied der Coherent COMPex-Familie vor: der Coherent COMPex F2 – der leistungsstärkste VUV-Laser.
Unser neuer Laser mit zwei Wellenlängen erfüllt die Anforderungen von Anwendungen, die eine leistungsstarke Quelle für Vakuum-Ultraviolett-Wellenlängen benötigen. Der F2 bietet eine direkte Ausgabe bei 157 nm oder 193 nm, indem einfach die Gasfüllung gewechselt wird, wodurch ihr Nutzen und Wert maximiert wird.
Einige wichtige Anwendungen von COMPex F2
- LA-ICP-MS-Analyse von Gesteins- und Eisproben
- Gepulste Laserabscheidung (PLD) von speziellen Materialien
- Direkte Strukturierung und Mikromaterialbearbeitung von PDMS und PTFE (Teflon®)
Laserablation LA-ICP-MS (Laser Ablation Inductively Coupled Plasma Mass Spectrometry) ist ein vielseitiges Werkzeug, das die Analyse der elementaren Zusammensetzung von festen Proben ohne Probenvorbereitung ermöglicht. VUV wird hier für viele Gesteins- und arktische Eisproben benötigt.
Die gepulste Laserabscheidung (PLD) ist eine stark wachsende Methode für die Abscheidung von Dünnschichten. Mit kürzeren Wellenlängen kann das Materialspektrum bei der Schichterzeugung erweitert werden. Das Gleiche gilt für den Bereich der Materialbearbeitung. Bei Wellenlängen von 157 nm und 193 nm können sogar Materialien wie hochreiner Quarz, Polydimethylsiloxan (PDMS) und sogar PTFE (Teflon®) mit hoher Präzision strukturiert werden.
Einige wichtige Vorteile von COMPex F2
- Vakuum-UV-Betrieb bei 157 nm oder 193 nm
- 32 mJ stabilisierte Pulsenergie bei 157 nm
- 50 Hz Wiederholrate
- Luftdichter Strahlengang mit Vakuumflanschzugang
Aus praktischer Sicht bietet der neue COMPex F2-Laser alle Vorteile der COMPex-Familie. 1) Es sind hocheffektive Lichtquellen, die sich durch ein kompaktes Design und eine einfache Installation und Bedienung auszeichnen. 2) Sie bieten unübertroffene Pulsenergie und Puls-zu-Puls-Stabilität, exzellente Strahlgleichmäßigkeit und industrielle Zuverlässigkeit rund um die Uhr.
COMPex-Laser setzen auch den Standard für die meisten Anwendungen im ultravioletten Wellenlängenbereich bei 248 nm und 308 nm. Zu diesen Anwendungen gehören das Dünnschicht-Aufwachsverfahren sowie das Wafer-Debonden, das vielen Arten von Anwendungen in der Mikroelektronik zugrunde liegt.
COMPex-Laser werden auch im neuesten UVtransfer-System von Coherent eingesetzt, das die automatisierte Produktion von MicroLED-Displays der nächsten Generation ermöglicht.
Wie andere COMPex-Laser wird auch der COMPex F2 von einer umfassenden Garantie abgedeckt, die 36 Monate ab Rechnungsdatum oder 1 Milliarde Pulse umfasst, je nachdem, was zuerst eintritt. Wir bieten auch einen kostenlosen Installationsservice an.
Erfahren Sie mehr über die Coherent COMPex-Familie und unseren neuesten VUV-Excimerlaser: Der COMPex F2
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