Excimer-Laser

Nutzen Sie die Vorteile von hochenergetischen UV-Pulsen für die Mikroelektronik, Displays, wissenschaftliche Forschung, Medizin und Dünnschichtbearbeitung.


  • Verarbeitung großer Feldgrößen Decken Sie die Probenoberfläche mit homogenen, großflächigen Zylinder-Strahlen ab.
  • Skalierbare UV-Leistung Passen Sie das Leistungsniveau von der Vorproduktion bis zur Großserienfertigung an.
  • Ultimative Präzision Laserenergie selektiv in die Niedertemperatur-Dünnschichtbearbeitung einbringen.
Bearbeiteter Alternativtext, nicht von DAM

Das breiteste Portfolio an Excimer-Lasern

Mit 50 Jahren Erfahrung mit Excimer-Lasern wissen wir, dass Sie mit einem auf Ihre Anwendung abgestimmten Excimer-Laser die besten Ergebnisse erzielen. Aus diesem Grund bieten wir die größte Auswahl an Laserleistungs- und Leistungsoptionen, alle von höchster Qualität und Leistung.

Excimer-Laser Produktfamilie

ExciStar Product Image

ExciStar Tisch-UV-Excimer-Laser sind für heikle Aufgaben wie Hornhautabtragung, Beschriftung von Korrekturgläsern und die Herstellung optischer Sensoren konzipiert.

Hohe Wiederholrate – bis zu 1 kHz. Arbeitsplatte – 650 x 300 mm Standfläche. 193 nm oder 248 nm – Präzise Beschriftung und Ablation.
IndyStar Product Image

Laser der IndyStar Serie sind robuste UV-Excimer-Laser mit hoher Einschaltdauer, die für schnelle Pulsanwendungen wie Tintenstrahldüsenbohren, Messtechnik und Optikprüfungen entwickelt wurden.

Hohe Pulsfrequenz – Bis zu 2 kHz in 24/7-Anwendungen. Semicon-Anwendungen – Semi-S2-kompatibel. 193 nm und 248 nm – Lithographieentwicklung, Masken- und Optikprüfung, Mikromaterialbearbeitung.
COMPex Product Image

COMPex UV-Laser liefern Hunderte von Millijoule Pulsenergie mit hoher Puls-zu-Puls-Stabilität und hervorragender Strahlgleichmäßigkeit für anspruchsvolle Anwendungen.

Hohe Energie – Hunderte von Millijoule. Wellenlängenvielfalt – 193 nm, 248 nm, 308 nm, 351 nm. Unterstützt Dünnschichtbearbeitung – Waferbearbeitung, Ablagerung mit gepulsten Lasern.

LEAP UV Excimer-Laser bieten hohe Energie, hochpräzise Bearbeitung mit unserer Kombination aus hoher Einschaltdauer, Zuverlässigkeit und niedrigen Betriebskosten.

Große Auswahl an Leistungsstufen – Die gleiche Plattform unterstützt Großserienfertigung, Vorproduktion und Entwicklung mit bis zu 300 Watt. Pulse-on-Demand – Passen Sie das Pulsmuster an Ihren Prozessablauf an, um die Betriebskosten zu minimieren. Vielseitig – Wählen Sie aus 193 nm, 248 nm und 308 nm Modellen für Ablagerung mit gepulsten Lasern, Mikrostrukturierung oder Displaybearbeitung.
LAMBDA SX Product Image

LAMBDA SX sind industrielle UV-Excimer-Laser für den Produktionsbereich mit stabilen Hochenergiepulsen, die eine großflächige UV-Bearbeitung mit Strahlstabilität unterstützen.

Hohe Leistung – bis zu 600 Watt. Hohe Pulsenergie – Bis zu 1000 mJ. Hohe Pulsrate – Dreischichtige Massenproduktion mit bis zu 600 Hz.
Vyper Product Image

VYPER-Kilowatt- bis Multi-Kilowatt-UV-Excimer-Laserplattformen ermöglichen den höchsten Durchsatz für die Displayproduktion in großen Mengen.

Sehr hohe Leistung – bis zu 3600 Watt. Sehr hohe Pulsenergie – Bis zu 6 Joule pro Puls. Unübertroffene Energiestabilität – Unterstützt OLED- und MicroLED-Backplane-Verarbeitung.
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