UV-Excimer-Systeme

Nutzen Sie die Vorteile unserer einzigartigen hochenergetischen UV-Excimer-Laser mit kompletten optischen Systemen, die für LTPS, LLO, LIFT, PLD, LA-ICP-MS und mehr konfiguriert sind.

  • Vertikale Integration Vermeiden Sie Risiken und genießen Sie den rund-um-die-Uhr-Betrieb mit unseren langlebigen Lasern, Optiken und Mechaniken.
  • Bewährte Industriewerkzeuge Verlassen Sie sich auf dieselbe Basistechnologie, die leistungsstarke mobile Displays herstellt.
  • UV-Wellenlängenoptionen Wählen Sie aus 193-, 248- und 308-nm-Systemen sowie benutzerdefinierten 157- oder 351-nm-Optionen.
Autorisierter Alt-Text nicht aus dem DAM

Unsere Expertise im Excimer-UV-Prozess

Mit 50 Jahren Erfahrung mit UV-Lasern und optischen Systemen verstehen wir die Herausforderungen bei der Verwendung, Formung und Fokussierung von Excimer-Strahlen. Dank vertikaler Integration konstruieren, fertigen und montieren wir komplette Systeme nach höchsten Standards.

UV-Excimer-Laser Produktfamilie

UVtransfer product image

Ein einzigartiges 3-in-1-System für die Herstellung von MicroLED-Displays, das Laser-Schichtseparation (LLO), Laser-induzierte Vorwärtsübertragung (LIFT) und Reparatur/Trimming mit hohem Durchsatz ermöglicht.

3-in-1-Wert – Ein System für alle drei Prozesse. Hoher Durchsatz – Der Hochenergie-Excimer-Laser unterstützt große Feldgrößen. Zukunftssicher – Bewältigt die Größen von 50 bis 5 µm.
LineBeam VYPER

LineBeam Excimer-UV-Laser ermöglichen die Massenfertigung von Niedertemperatur-Polysilizium (LTPS)-Backplanes auf großen Substratplatten mit höchster Ausbeute.

Langer Linienstrahl – Bis zu 1500 mm. Hohe Homogenität – 0,6 % (2σ). Große Brennweite – Bis zu ±150 µm.
UVblade product image

UVblade Excimer-Laser bieten eine kosteneffektive Lösung für LLO mit hoher optischer Effizienz und breiter Skalierbarkeit in Linienlängen und Energiedichte.

Hohe Homogenität – 1,8 % Große Brennweite – Bis zu ±200 µm. Hohe Pulsenergie – Bis zu 2000 mJ.
UV Optical Components Product Image

Holen Sie sich überlegene optomechanische Werkzeuge für eine optimierte Excimer-Strahlabgabe Für die einzigartige Kombination aus hoher Pulsenergie, kurzen UV-Wellenlängen und hoher Leistung.

Homogenisieren eines Strahls – <± 5 % Fluenzschwankung. Variable Dämpfung – Präzise Energiesteuerung. Maskenbildprojektion – 4–10-fache Verkleinerung.
VarioLas Product Image

VarioLas Excimer-UV-Laser basieren auf dem leistungsstarken COMPex-Excimer-Laser für die hochwertige UV-Mikromaterialbearbeitung mit Linienstrahl oder quadratischer Strahlfeldform.

Hohe Energiedichte – Bis zu 7,5 J/cm². Vielseitig und verstellbar – Linien- oder Vierkantprofil. Hohe optische Auflösung – ≥ 5 µm.
GeoLas Pro Product Image

GeoLasHD Excimer-UV-Systeme kombinieren 193 nm-Pulse, ein leistungsstarkes Polarisationsmikroskop und HD-Kamerabeobachtung für die Laserablation ICP-MS.

Hohe optische Auflösung – 1 µm. Variabler Probenfleck – 2–160 µm. Hohe Pulsstabilität – 1 % (rms).
Ausgewählter Blog

Was sind MicroLED-Displays?

MicroLEDs (µLEDs) sind eine relativ neue Technologie, die brillante, hochauflösende Displays ermöglicht. In den nächsten fünf Jahren wird der Markt für µLED-Displays auf mehr als 10 Milliarden US-Dollar wachsen – und Laser spielen bei ihrer Herstellung eine entscheidende Rolle.

Need to make this authored

Sind Sie bereit,

um loszulegen?

Geben Sie Ihre E-Mail-Adresse ein und ein Spezialist wird sich mit Ihnen in Verbindung setzen.

Pflichtfeld

By providing your information and clicking ‘Subscribe’, you opt-in to receiving periodic email marketing communications from Coherent Corp. and understand that your personal data will be processed in accordance with our Privacy Policy and that our Terms apply. You may opt-out of marketing emails sent by us at any time by clicking the unsubscribe link in any marketing email you receive.

Shop Coherent

Der Online-Einkauf von Produkten wie Laser, Glasfasern, Leistungsmessgeräte, Sensoren, Zubehör und vieles mehr war bei Coherent noch nie so einfach.