UV-Excimer-Systeme

Nutzen Sie die Vorteile unserer einzigartigen hochenergetischen UV-Excimer-Laser mit kompletten optischen Systemen, die für LTPS, LLO, LIFT, PLD, LA-ICP-MS und mehr konfiguriert sind.

Vertikale Integration Vermeiden Sie Risiken und genießen Sie den rund-um-die-Uhr-Betrieb mit unseren langlebigen Lasern, Optiken und Mechaniken.
Bewährte Industriewerkzeuge Verlassen Sie sich auf dieselbe Basistechnologie, die leistungsstarke mobile Displays herstellt.
UV-Wellenlängenoptionen Wählen Sie aus 193-, 248- und 308-nm-Systemen sowie benutzerdefinierten 157- oder 351-nm-Optionen.

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Wir bringen unsere Expertise in Ihren Prozess ein

Mit 50 Jahren Erfahrung mit UV-Lasern und optischen Systemen verstehen wir die Herausforderungen bei der Verwaltung, Formung und Fokussierung von Excimer-Strahlen. Und dank vertikaler Integration konstruieren, fertigen und montieren wir komplette Systeme nach höchsten Standards.

UV-Excimer-Laser Produktfamilie

UVtransfer Ein einzigartiges 3-in-1-System für die Herstellung von MicroLED-Displays, das Laser-Schichtseparation (LLO), Laser-induzierte Vorwärtsübertragung (LIFT) und Reparatur/Trimming mit hohem Durchsatz ermöglicht.	3-in-1-Wert – Ein System für alle drei Prozesse.	Hoher Durchsatz – Der Hochenergie-Excimer-Laser unterstützt große Feldgrößen.	Zukunftssicher – Bewältigt die Größen von 50 bis 5 µm.
LineBeam LineBeam Excimer-UV-Laser ermöglichen die Massenfertigung von Niedertemperatur-Polysilizium (LTPS)-Backplanes auf großen Substratplatten mit höchster Ausbeute.	Langer Linienstrahl – Bis zu 1500 mm.	Hohe Homogenität – 0,6 % (2σ).	Große Brennweite – Bis zu ±150 µm.
UVblade UVblade Excimer-Laser bieten eine kosteneffektive Lösung für LLO mit hoher optischer Effizienz und breiter Skalierbarkeit in Linienlängen und Energiedichte.	Hohe Homogenität – 1,8 %	Große Brennweite – Bis zu ±200 µm.	Hohe Pulsenergie – Bis zu 2000 mJ.
Excimer Beam Delivery Optics Holen Sie sich überlegene optomechanische Werkzeuge für eine optimierte Excimer-Strahlabgabe Für die einzigartige Kombination aus hoher Pulsenergie, kurzen UV-Wellenlängen und hoher Leistung.	Homogenisieren eines Strahls – <± 5 % Fluenzschwankung.	Variable Dämpfung – Präzise Energiesteuerung.	Maskenbildprojektion – 4–10-fache Verkleinerung.
VarioLas VarioLas Excimer-UV-Laser basieren auf dem leistungsstarken COMPex-Excimer-Laser für die hochwertige UV-Mikromaterialbearbeitung mit Linienstrahl oder quadratischer Strahlfeldform.	Hohe Energiedichte – Bis zu 7,5 J/cm².	Vielseitig und verstellbar – Linien- oder Vierkantprofil.	Hohe optische Auflösung – ≥ 5 µm.
GeoLasHD GeoLasHD Excimer-UV-Systeme kombinieren 193 nm-Pulse, ein leistungsstarkes Polarisationsmikroskop und HD-Kamerabeobachtung für die Laserablation ICP-MS.	Hohe optische Auflösung – 1 µm.	Variabler Probenfleck – 2–160 µm.	Hohe Pulsstabilität – 1 % (rms).