UV-Lasersysteme
Nutzen Sie die Vorteile unserer einzigartigen Hochenergie-UV-Laser mit kompletten optischen Systemen, die für LTPS, LLO, LIFT, PLD, LA-ICP-MS und mehr konfiguriert sind.
- Vertikale Integration Vermeiden Sie Risiken und genießen Sie den rund-um-die-Uhr-Betrieb mit unseren langlebigen Lasern, Optiken und Mechaniken.
- Bewährte Industriewerkzeuge Verlassen Sie sich auf dieselbe Basistechnologie, die leistungsstarke mobile Displays herstellt.
- UV-Wellenlängenoptionen Wählen Sie aus 193-, 248- und 308-nm-Systemen sowie benutzerdefinierten 157- oder 351-nm-Optionen.
Unser Know-how im UV-Laserprozess
Mit 50 Jahren Erfahrung mit UV-Lasern und optischen Systemen verstehen wir die Herausforderungen bei der Verwendung, Formung und Fokussierung von Excimer-Strahlen. Dank vertikaler Integration konstruieren, fertigen und montieren wir komplette Systeme nach höchsten Standards.
UVtransfer
UVtransfer-Laser unterstützen spezielle Anwendungen bei der Herstellung von microLED-Displays der nächsten Generation.
- Hoher Durchsatz – Der Hochenergie-Excimer-Laser unterstützt große Feldgrößen.
- Zukunftssicher – Bewältigt die Größen von 50 bis 5 µm.
- Drei schlüsselfertige Lösungen für Prozesse von Forschung und Entwicklung bis hin zur Massenproduktion.
LineBeam
LineBeam UV-Lasersysteme ermöglichen die Massenfertigung von Niedertemperatur-Polysilizium(LTPS)-Backplanes auf großen Substratplatten mit höchster Ausbeute.
- Langer Linienstrahl – Bis zu 1500 mm.
- Hohe Homogenität – 0,6 % (2σ).
- Große Brennweite – Bis zu ±150 µm.
UVblade
UVblade Excimer-Laser bieten eine kosteneffektive Lösung für LLO mit hoher optischer Effizienz und breiter Skalierbarkeit in Linienlängen und Energiedichte.
- Hohe Homogenität – 1,8 %
- Große Brennweite – Bis zu ±200 µm.
- Hohe Pulsenergie – Bis zu 2000 mJ.
Excimer Beam Delivery Optics
Holen Sie sich überlegene optomechanische Werkzeuge für eine optimierte Excimer-Strahlabgabe Für die einzigartige Kombination aus hoher Pulsenergie, kurzen UV-Wellenlängen und hoher Leistung.
- Homogenisieren eines Strahls – <± 5 % Fluenzschwankung.
- Variable Dämpfung – Präzise Energiesteuerung.
- Maskenbildprojektion – 4–10-fache Verkleinerung.
VarioLas
VarioLas Excimer-UV-Laser basieren auf dem leistungsstarken COMPex-Excimer-Laser für die hochwertige UV-Mikromaterialbearbeitung mit Linienstrahl oder quadratischer Strahlfeldform.
- Hohe Energiedichte – Bis zu 7,5 J/cm².
- Vielseitig und verstellbar – Linien- oder Vierkantprofil.
- Hohe optische Auflösung – ≥ 5 µm.
GeoLasGC
GeoLasGC Excimer-UV-Systeme kombinieren 193 nm-Pulse, ein leistungsstarkes Polarisationsmikroskop und HD-Kamerabeobachtung für die Laserablation ICP-MS.
- Hohe optische Auflösung – 1 µm.
- Variabler Probenfleck – 2–160 µm.
- Hohe Pulsstabilität – 1 % (rms).
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Was sind MicroLED-Displays?
MicroLEDs (µLEDs) sind eine relativ neue Technologie, die brillante, hochauflösende Displays ermöglicht. In den nächsten fünf Jahren wird der Markt für µLED-Displays auf mehr als 10 Milliarden US-Dollar wachsen – und Laser spielen bei ihrer Herstellung eine entscheidende Rolle.
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