脉冲激光沉积 (PLD)
使用我们独特的强大准分子激光器进行脉冲激光沉积 (PLD)。
- 化学计量 PLD 使用坚固耐用的 COMPex 激光器获得化学计量 PLD 结果。
- 大面积 PLD 我们的高功率 LEAP 激光器可提供大面积的高性能薄膜。
- 三移 PLD 受益于我们久经考验的准分子激光器提供的正常运行时间和使用寿命。
高温超导 (HTS) 带材
基于准分子的 PLD 是唯一经过验证的批量生产方法，可以制造具有多层 HTS 带材所需质量的稀土钡铜氧化物 (REBCO) 薄膜。
面向 5G 的
射频滤波器
准分子激光 PLD 可生产用于射频滤波器的压电掺钪氮化铝 (Sc: AlN) 薄膜，提供 5G 及未来移动通讯技术所需的压电响应和高频射频特性。
类金刚石碳 (DLC) 层
准分子激光器可在低温 PLD 工艺中形成无氢 DLC 层，并通过准分子激光退火确保对多种材料的良好附着力。
薄膜晶圆
准分子激光 PLD 可以在更大（最大 300 mm）晶圆上生产更复杂的结晶薄膜，这种薄膜可用于 MEMS、半导体、光伏和 OLED 显示器。
固态薄膜电池
PLD 可用于生产先进的固体电解质，包括阳极和阴极材料，这些材料均具有可调节密度和化学计量以及纳米级厚度精度。
透明导电氧化物
(PLD) 可将高度均匀的透明电极轻轻地沉积在敏感的有机层上，从而实现无缓冲半透明钙钛矿太阳能电池的生产。
视频聚焦：
恩斯赫德 Solmates 公司利用高功率准分子激光器开发薄膜设备
凭借高功率 LEAP 系列准分子激光器，荷兰恩斯赫德 Solmates 公司的 Arjen Janssens 和其同事开发了创新型脉冲激光沉积设备，这将在未来芯片设计的开发和新薄膜材料的集成中发挥关键作用。 了解有关薄膜行业中激光技术应用情形的更多信息。
精选博客
创新的 MicroLED 显示制造
相干公司的新型 UVtransfer 系统正利用激光剥离 (LLO)、巨量转移 (LIFT) 和激光修复来创新 MicroLED 制造。
资源列表
利用准分子激光器助力超导线材大批量生产
SuperOx Japan 使用 Coherent LEAP 300C 准分子激光器为其脉冲激光沉积 (PLD) 工艺提供助力，交付了有史以来最高量的超导 YbCO 带材。
LEAP 准分子激光器显著降低了每瓦激光的实际成本，助力 SuperOx Japan 实现了 HTS 线材的低成本、大批量生产。
放大器稳定性可实现铁电薄膜极化的原位研究
了解这些研究人员如何使用 Coherent Astrella/TOPAS 成功地测量出薄膜（0 到 20 个晶胞 (u.c.)）极化的角度和方向。
放大器热稳定性至关重要。 我们的工作室内运行温度高达 950°C，并会在长时间实验中显著提高实验室的温度。 Astrella 的功率、光束形状和指向均不受这些环境变化的影响。
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