反应烧结 SiC 特性
从一系列针对各种机械、热和电气特性进行了优化的 RB-SiC 衬底材料中进行选择。
特性 |
SSC-702 |
SSC-802 |
SSC-902 |
SSC-FG (细粒 SiSiC) |
HSC-702 (Si/SiC+Al) |
TSC-15 (Si/SiC + Ti) |
RBBC-751 (B4C/SiC/Si) |
SSC-HTC |
泊松比 |
0.18 |
0.18 |
0.18 |
0.18 |
0.19 |
0.19 |
0.18 |
0.2 |
杨氏模量 (GPa) [E] |
350 |
380 |
410 |
330 |
330 |
390 |
400 |
373 |
CTE、20-100ºC (ppm/K) [α] |
2.9 |
2.9 |
2.7 |
3 |
4.4 |
3 |
4.8 |
2.9 |
热导率(W/m-K) [k] |
170 |
180 |
190 |
150 |
200 |
210 |
52 |
402 |
比热 (J/kg-K) |
680 |
670 |
660 |
680 |
700 |
670 |
890 |
670 |
极限拉伸强度 (MPa) |
N/A |
N/A |
N/A |
N/A |
N/A |
N/A |
N/A |
- |
抗弯强度 (MPa) |
270 |
280 |
280 |
350 |
275 |
225 |
280 |
265 |
断裂韧性 (Mpa-m1/2) |
4 |
4 |
4 |
4 |
5 |
5 |
5 |
3.5 |
阻尼系数 (% Zeta) |
- |
0.12 |
- |
- |
- |
- |
- |
- |
比刚度 (E/ρ) |
119 |
127 |
131 |
112 |
109 |
125 |
156 |
- |
热稳定性 (k/α) |
59 |
62 |
70 |
50 |
45 |
70 |
11 |
- |
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