材料

反应烧结 SiC

供应几乎任何尺寸或形状的 RB-SiC 组件,并可根据需要进行定制,包括高平整度、大渗透深度和内部冷却通道。

RB-SiC 提供独特的物理特性组合(耐高温、低 CTE、化学惰性、高强度和强度重量比),适用于高压电子、半导体工具等应用。

反应烧结 SiC 特性

从一系列针对各种机械、热和电气特性进行了优化的 RB-SiC 衬底材料中进行选择。

特性

SSC-702

SSC-802

SSC-902

SSC-FG

(细粒 SiSiC)

HSC-702

(Si/SiC+Al)

TSC-15

(Si/SiC + Ti)

RBBC-751 

(B4C/SiC/Si)

SSC-HTC

泊松比

0.18

0.18

0.18

0.18

0.19

0.19

0.18

0.2

杨氏模量 (GPa) [E]

350

380

410

330

330

390

400

373

CTE、20-100ºC (ppm/K) [α]

2.9

2.9

2.7

3

4.4

3

4.8

2.9

热导率(W/m-K) [k]

170

180

190

150

200

210

52

402

比热 (J/kg-K)

680

670

660

680

700

670

890

670

极限拉伸强度 (MPa)

N/A

N/A

N/A

N/A

N/A

N/A

N/A

-

抗弯强度 (MPa)

270

280

280

350

275

225

280

265

断裂韧性 (Mpa-m1/2)

4

4

4

4

5

5

5

3.5

阻尼系数 (% Zeta)

-

0.12

-

-

-

-

-

-

比刚度 (E/ρ)

119

127

131

112

109

125

156

-

热稳定性 (k/α)

59

62

70

50

45

70

11

-