准分子激光器

将高能紫外光脉冲用于微电子、显示屏、科学研究、医学和薄膜加工。


  • 大场尺寸处理 用均匀的大面积平顶型光束覆盖样品表面。
  • 可扩展的紫外光功率 调整从预生产到大批量生产的功率水平。
  • 极致精度 在低温薄膜加工中选择性地沉积激光能量。
Excimer Lasers Line Drawing

种类齐全的准分子激光器产品组合

凭借 50 年的准分子激光器领域经验,我们知道您可以使用与您的应用相匹配的准分子激光器获得绝佳结果。 这就是为什么我们提供选择范围极广的激光功率和能量选项的原因,所有这些都具有卓越的质量和性能。

准分子激光器产品系列

ExciStar Product Image

ExciStar 台式紫外光准分子激光器专为精细任务而设计,这些任务包括角膜消融、处方透镜打标和光学传感器制造。

高重复频率 - 高达 1 kHz。 台式 - 占用空间为 650 mm x 300 mm。 193 nm 或 248 nm - 精确打标和烧蚀。
IndyStar Product Image

IndyStar 激光器是坚固耐用的高占空比紫外光准分子激光器,专为快速脉冲应用(如喷墨嘴钻孔、测量和光学测试)而设计。

高脉冲频率 - 在全天候应用中高达 2 kHz。 半导体应用 - 符合 Semi-S2 标准。 193 nm 和 248 nm - 平版印刷开发、掩模板和光学测试、微加工。
COMPex Product Image

COMPex 紫外光激光器可产生数百毫焦的脉冲能量,具备高脉冲至脉冲稳定性和出色的光束均匀性,适用于要求严苛的应用。

高能量 - 数百毫焦。 波长多样 - 193 nm、248 nm、308 nm、351 nm。 支持薄膜加工 - 晶片加工、脉冲激光沉积。

LEAP 紫外光准分子激光器具备高占空比输出、可靠性和低使用成本,可进行高能量、高精度加工。

多种功率水平选择 - 同一平台支持高达 300 W 的大批量生产、试生产和开发。 按需脉冲 - 根据您的工艺流程调整脉冲模式,从而尽可能降低运营成本。 多功能 - 从 193 nm、248 nm 和 308 nm 型号中选择,用于脉冲激光沉积、微结构或显示屏加工。
LAMBDA SX Product Image

LAMBDA SX 是用于生产车间的工业紫外光准分子激光器,具有稳定的高能脉冲,支持大面积紫外光加工,并拥有光束稳定性。

高功率 - 高达 600 W。 高脉冲能量 - 高达 1000 mJ。 高脉冲频率 - 三班批量生产,频率高达 600 Hz。
Vyper Product Image

VYPER 千瓦至数千瓦紫外光准分子激光平台可达成大批量显示屏生产的超高吞吐量。

十分高的功率 - 高达 3600 W。 非常高的脉冲能量 - 每脉冲高达 6 J。 无与伦比的能量稳定性 - 支持 OLED 和 MicroLED 背板加工。
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