准分子紫外光系统

充分利用我们独特的高能量紫外光准分子激光器,以及为 LTPS、LLO、LIFT、PLD、LA-ICP-MS 等配置的完整光学系统。


  • 垂直整合 使用我们寿命极长的激光器、光学器件和机械,避免风险并享受全天候运行。
  • 久经验证的工业工具 依靠成就高性能移动显示屏的相同支持技术。
  • 紫外光波长选项 从 193、248 和 308 nm 系统以及自定义 157 或 351 nm 选项中进行选择。
UV Excimer Laser Line Drawing

将我们的专业知识融入您的工艺中

凭借在紫外激光器和光学系统方面 50 年的经验,我们了解管理、成型和聚焦准分子光束方面的挑战。 得益于垂直集成,我们设计、制造和组装的完整系统能够满足严苛的标准。

准分子紫外光系列产品

UVtransfer product image

独特的三合一系统,用于 MicroLED 显示屏制造,支持激光剥离 (LLO)、巨量转移 (LIFT) 和激光修复,并具备高吞吐量。

三合一价值 - 集成了所有三个工艺的单一系统。 高吞吐量 - 高能量准分子激光器支持大型场尺寸。 面向未来 - 可处理从 50 µm 一直到 5 µm 的芯片尺寸。
LineBeam VYPER

LineBeam 准分子紫外激光器有助于在大型基板上大规模制造低温多晶硅 (LTPS) 背板,良率极高。

长线光束 - 高达 1500 mm。 高度均匀 - 0.6 % (2σ)。 大焦深 - 高达 ±150 µm。
UVblade product image

UVblade 准分子激光器为 LLO 提供了一种经济高效的解决方案,在线长度和能量密度方面具有较高的光学效率和广泛的可扩展性。

高度均匀 - 1.8 % 大焦深 - 高达 ±200 µm。 高脉冲能量 - 高达 2000 mJ。
UV Optical Components Product Image

获取用于准分子光束传输的卓越的光学机械工具,针对高脉冲能量、短紫外光波长和高功率的独特组合进行了优化。

均匀光束 - <± 5% 通量变化。 可变衰减 - 精确的能量控制。 掩膜图像投影 - 4-10 倍的缩倍。
VarioLas Product Image

VarioLas 准分子紫外线激光器基于功能强大的 COMPex 准分子激光器,适用于对线光束或方形光束场形状进行高质量紫外光微加工。

能量密度高 - 高达 7.5 J/cm²。 多功能且可调节 - 线或方形轮廓。 高光学分辨率 - ≥ 5 µm。
GeoLas Pro Product Image

GeoLasHD 准分子紫外光系统结合了 193 nm 脉冲、高性能极化显微镜和用于激光烧蚀 ICP-MS 的高清摄像头观测。

高光学分辨率 - 1 µm。 可变样本点 - 2 - 160 µm。 高脉冲稳定性 - 1 % (rms)。
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