Herstellung von Halbleitern

Unterstützen Sie Fabs von den fortschrittlichsten Transistor-Nodes durchgängig bis hin zu Legacy-Nodes, indem Sie Defekte lokalisieren und vermeiden und fortschrittliche Materialien wie Low-κ-Dielektrika verarbeiten.

  • Höchste Auflösung Arbeiten Sie mit höchster Auflösung mit einer großen Auswahl an kurzwelligen Lasern.
  • Verbesserte Empfindlichkeit Erhöhen Sie die Empfindlichkeit der Fehlererkennung und verarbeiten Sie schneller mit höheren Leistungen und kürzeren Laserwellenlängen.
  • UV-Zuverlässigkeit Genießen Sie außergewöhnliche Zuverlässigkeit bei UV- und DUV-Lasern dank unserer unübertroffenen Erfahrung.
Semiconductor Manufacturing Lasers

Wafer-Inspektion

Ultraviolett-Laserquellen mit hoher Leistung für Geschwindigkeit oder verbesserte Erkennungsempfindlichkeit sowie längste Betriebslebensdauer und Betriebszeiteigenschaften.

Maskeninspektion

Fab-zertifizierte und äußerst zuverlässige 193 nm Excimer-Laser und 266 nm DPSS-Laser sowie Ionen-Laser, die selbst kleinste Fehler in einer Litografiemaske zuverlässig erkennen.

Ausgewählter Blog

Der neue UV-Femtosekundenlaser mit 30 W verkleinert beim OLED-Formschneiden die HAZ

Der 30 Watt Laser Monaco UV von Coherent ist die ideale Wahl für das Hochgeschwindigkeits-Formschneiden mit geringer Wärmeeinflusszone (HAZ) für die wirtschaftliche Produktion zuverlässiger und faltbarer OLED-Bildschirme in Großserie.

Kunde Erfolgsgeschichten

Neues Excimer-Verfahren erzeugt in kurzer Zeit ultraharte DLC-Schichten bei niedrigen Temperaturen

Erfahren Sie, wie das Mittweida-Team der Hochschule für angewandte Wissenschaften eine Härte von bis zu 70 GPa mit Young'schen Modulen von 700 bis 800 GPa erreicht hat, was zu einer extrem hohen operativen Verschleißfestigkeit führt.

Die hohe Pulsenergie von LEAP ermöglicht eine schnelle Abscheidung und Aushärtung. Die stabile Leistung und das Flat-Top-Strahlprofil geben uns eine präzise Kontrolle sowohl über den Abscheidungs- als auch den Glühprozess
Hagen Grüttner Hagen Grüttner, Project ANTACON, Hochschule für angewandte Wissenschaften Mittweida, Deutschland

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