Lasermaschinen und Systeme

Excimer Beam Delivery Optics


Hochwertige Optik, abgestimmt auf die einzigartige Kombination aus hoher Pulsenergie, kurzen UV-Wellenlängen und hoher Leistung.

Viele Anwendungen von Excimer-Lasern benötigen Zuführungsoptiken – zum Projizieren, Homogenisieren und/oder Abschwächen des Strahls. Coherent nutzt eine unübertroffene Kombination aus Erfahrung und technischem Wissen, um optomechanische Werkzeuge für diese Herausforderung zu entwickeln. 


Excimer Beam Delivery Optics – Übersicht

Vereinfachen Sie Ihre Excimer-Laseranwendung mit standardmäßigen und kundenspezifischen Strahlführungsoptiken und optomechanischen Modulen.

 

Produktspezifikationen

Produktart

Hauptmerkmale

Abschwächer

Variabler Abschwächer mit Kompensatorplatte, um Strahlablenkung zu vermeiden 

Homogenisatoren

Erzeugt ein einheitliches Feld von 5 x 5 mm oder 10 x 10 mm mit einer Abweichung von <± 5% 

Projektionslinsen 

5x oder variable 4–10x Verkleinerung mit höheren Werten auf Anfrage