光学器件
铌酸锂晶圆
利用铌酸锂独有的高折射率与可见光和红外透射率，在我们的晶圆上制造波导结构、调制器和传感器。
铌酸锂是一种化学稳定性和热稳定性很高的多功能材料。与玻璃（1.5）相比，其折射率高 (>2.3)，在以晶圆形式制造用于波导设计的产品时可实现大视场。
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铌酸锂晶圆
依靠 Coherent 在铌酸锂晶圆制造方面十多年的经验，我们可以提供满足您具体要求的晶圆。
材料规格 |
|
材料 |
同质：LiNbO3 |
材质质量 |
气泡或夹杂物 <100 μm 数量 <8，30 微米 < 气泡大小 < 100 μm |
方向 |
Y 切 ±0.2° |
密度 |
4.65 g/cm3 |
居里温度 |
1142 ±1℃ |
透明度 |
450 - 700 nm 范围内 >95%（10 mm 厚度） |
制造规格 |
|
直径 |
150 mm ± 0.2 mm |
厚度 |
350 μm ± 10 μm |
平坦度 总厚度偏差 (TTV) 局部厚度偏差 (LTV) 弯曲度 粗糙度 |
<1.3 μm 翘曲度 < 70 μm @ 150 mm 晶圆 <70 μm @ 150 mm 晶圆 Rq≤ 0.5 nm（AFM 的 RMS 值） |
表面质量 |
40-20 |
颗粒 |
不可去除颗粒： 100-200 μm ≤ 3 个颗粒， 20-100 μm ≤ 20 个颗粒 |
芯片 |
<300 μm（全晶圆，无除外区） |
裂纹 |
无裂纹（全晶圆） |
污染 |
无不可去除污渍（全晶圆） |
并行度 |
<30 角秒 |
方向参考平面（x 轴） |
47 ±2 mm |
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