광학
니오비움산 리튬 웨이퍼
니오비움산 리튬의 고굴절률과 가시광선 및 적외선 투과율 조합을 활용하여 웨이퍼에 도파관, 변조기와 센서를 제작합니다.
니오비움산 리튬은 화학 및 열 안정성이 뛰어난 다기능성 소재입니다. 유리(1.5)에 비해 소재의 굴절률(>2.3)이 높기 때문에 웨이퍼 형태로 도파관을 설계 및 제작하는 경우 넓은 시야를 확보할 수 있습니다.
니오비움산 리튬 웨이퍼
10년 이상의 니오비움산 리튬 웨이퍼 제조 경험을 바탕으로 Coherent는 귀사의 요구 조건에 정확히 맞는 웨이퍼를 제공하고 있습니다.
소재 사양 |
|
재료 |
일치성: LiNbO3 |
소재 품질 |
기포 또는 함유물 <100μm 수량 <8, 30μm < 기포 크기 < 100μm |
방향 |
Y컷 ±0.2° |
밀도 |
4.65g/cm3 |
퀴리 온도 |
1142 ±1℃ |
투명도 |
>450~700nm에서 10mm 두께의 경우 95% |
제조 사양 |
|
직경 |
150mm ± 0.2mm |
두께 |
350μm ± 10μm |
편평도 TTV(Total thickness variation) LTV(Local thickness variation) 보우 거칠기 |
<1.3μm 워프 < 70μm @ 150mm 웨이퍼 <70μm @ 150mm 웨이퍼 Rq ≤0.5nm(AFM별 RMS 값) |
표면 품질 |
40-20 |
파티클 |
비분리성 파티클: 100-200μm ≤파티클 3개, 20-100μm ≤파티클 20개 |
칩 |
<300μm(제외 영역이 없는 전체 웨이퍼) |
균열 |
균열 없음(전체 웨이퍼) |
오염 |
비분리성 스테인 없음(전체 웨이퍼) |
병렬 처리 |
<30각초 |
방향 기준 플랫(x축) |
47 ±2mm |
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