Optiken
Lithium-Niobat-Wafer
Nutzen Sie die einzigartige Kombination aus hohem Brechungsindex und sichtbarer und infraroter Transmission von Lithiumniobat für die Herstellung von Wellenleitern, Modulatoren und Sensoren auf unseren Wafern.
Lithiumniobat ist ein multifunktionales Material mit hoher chemischer und thermischer Stabilität. Sein hoher Brechungsindex (> 2,3) ermöglicht im Vergleich zu Glas (1,5) ein großes Sichtfeld, wenn es in Waferform für das Wellenleiterdesign hergestellt wird.
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Lithium-Niobat-Wafer
Verlassen Sie sich darauf, dass Coherent mit über einem Jahrzehnt Erfahrung in der Herstellung von Lithium-Niobat-Wafern Wafer liefert, die genau Ihren Anforderungen entsprechen.
Materialspezifikationen |
|
Material |
Kongruent: LiNbO3 |
Materialqualität |
Blase oder Aufnahme <100 μm Aufnahme <8, 30 μm < Blasengröße < 100 μm |
Ausrichtung |
Y-Schnitt ±0,2° |
Dichte |
4,65 g/cm3 |
Curie-Temperatur |
1142 ±1℃ |
Transparenz |
>95 % für 10 mm Dicke über 450 – 700 nm |
Herstellungsspezifikationen |
|
Durchmesser |
150 mm ± 0,2 mm |
Dicke |
350 μm ± 10 μm |
Ebenheit Gesamtdickenschwankung (TTV) Lokale Dickenabweichung (LTV) Beugung Rauigkeit |
<1,3 μm Verzerrung < 70 μm bei 150 mm Wafer <70 μm bei 150 mm Wafer Rq≤ 0,5 nm (RMS-Wert nach AFM) |
Oberflächenqualität |
40-20 |
Partikel |
Nicht-entfernbare Partikel: 100–200 μm≤ 3 Partikel, 20–100 μm ≤20 Partikel |
Chip |
<300 μm (vollständiger Wafer, ohne Ausschlusszone) |
Riss |
Kein Riss (vollständiger Wafer) |
Kontamination |
Kein nicht-entfernbarer Fleck (vollständiger Wafer) |
Parallelität |
< 30 Bogensekunden |
Orientierungshilfe flach (x-Achse) |
47 ±2 mm |
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