SiC 衬底和外延片

电力电子器件中的 SiC

制造 MOSFET、IGBT 和其他组件,这些组件可用于电动和混合动力汽车以及航空航天应用中的高温、高频电力电子器件。

我们的导电 SiC 衬底结合了低电阻率、低缺陷密度、高均匀性、卓越的晶体质量和高导热性,使器件具有低功耗、高频特性和良好的热稳定性。

N 型碳化硅材料特性

Coherent 高意不断提高材料质量并增加衬底直径,使我们的客户能够提高设备性能并降低成本。

N 型碳化硅材料特性

物理特性

结构

六方单晶

直径

高达 200 mm

等级

初始、开发、机械

热特性

导热率

室温下 370 (W/mK)

热膨胀系数

4.5 x 10-6/K

比热 (25°C)

0.71 (J/g°C)

Coherent SiC 衬底的其他关键特性(典型值)

参数

N 型

多型体

6H

掺杂剂

电阻率

>1019 Ohm-cm

方向

4° 离轴

粗糙度 (Ra)

<5Å

位错密度

~3,000 cm-2

微管密度

< 10cm-2