Eine Innovation in der Herstellung von MicroLED-Displays

Erfahren Sie, wie das neue integrierte UVtransfer Lasersystem von Coherent die drei wichtigen Prozesse bei der MicroLED-Fertigung durchführt – LLO, LIFT und Reparatur/Trimmung.

2. Juli 2021 von Coherent
Integriertes UVtransfer Lasersystem

Das neue UVtransfer System von Coherent ist ein integriertes Lasersystem, das die drei entscheidenden Prozesse bei der Fertigung von MicroLED durchführt – Laser-Schichtseparation (LLO), Laser-induzierte Vorwärtsübertragung (LIFT) und Reparatur/Trimmung. UVtransfer unterstützt Forschung und Entwicklung sowie die Herstellung von Pilotanlagen und basiert auf derselben hochenergetischen Excimer-Lasertechnologie, die sich seit langem in der Großserienproduktion von Displays für das LTPS-Backplane-Annealing bewährt hat. 

MicroLEDs (μLEDs) sind eine spannende Möglichkeit, die Kosten für sehr großflächige Displays sowie einige kleinflächige Displays zu senken. Die Montage großer Displays aus μLEDs steht bisher vor mehreren Herausforderungen. Dies liegt an der wirklich massiven Anzahl und geringen Größe der aktiven Pixelelemente, die präzise vom Zuchtwafer auf das endgültige Glassubstrat übertragen werden müssen.

Diese Herausforderungen werden weiterhin extrem erhöht durch den engen Pitch und die geringen Abstände auf dem Zuchtwafer, mit denen die Prozessauslastung erhöht und die Kosten für die Pixelelemente gesenkt werden sollen. Und es wird erwartet, dass die Größe der Pixelelemente in Zukunft noch weiter schrumpfen wird – von 50 µm auf 5 µm. Daher müssen die Herstellungsverfahren leicht an diese geringeren Maße anpassbar sein.

Das Video erklärt wie das UVtransfer-System die Herausforderungen der Herstellung von MicroLED-Displays bewältigt.

UVtransfer ist ein einzigartiges System, das jetzt alle drei entscheidenden Fertigungsschritte abdeckt. Es basiert auf der leistungsstarken Excimer-Lasertechnologie von Coherent und deckt daher Flächen von bis zu 16 mm2 pro Schuss ab, was eine Parallelbearbeitung ermöglicht. Dies ist entscheidend, um Hunderte von Millionen von Chips für große Displays umzusetzen und diese Displays wirtschaftlich rentabel machen zu können. 

Auch das UVtransfer-System ist vollständig kompatibel mit dem unvermeidlichen Trend zu kleineren Pixelelementen. Damit wird das häufig mit neuen Fertigungstechnologien verbundene Investitionsrisiko eliminiert.

Das Whitepaper herunterladen und erfahren, wieso UVtransfer die heute schon bereitstehende zukunftssichere Lösung ist.

Displayhersteller, die sich für das UVtransfer System entscheiden, können sich auf das Support-Team von Coherent, bestehend aus lokalen Anwendungslabors, MicroLED-Prozessexperten sowie lokalen Service- und Vertriebsteams verlassen, die alle vom ersten Interesse bis hin zur erfolgreich funktionierenden Lösung eng mit den Kunden zusammenarbeiten. 

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