激光系统
UVtransfer
UVtransfer 激光器系统支持生产下一代 microLED 显示屏的专用应用。
用于工艺开发和试点生产线的 UVtransfer 三合一系统可以非常灵活地执行激光剥离 （LLO）、激光诱导前向转移 （LIFT） 和像素修复/修整。UVtransfer 系统是一种全自动 LIFT 工具，具有最高的吞吐量和良率，可将 microLED 显示屏的生产提升到工业规模。UVtransfer R 系统是专业的交钥匙解决方案，能够以出色的快速高效方式执行拆卸和重新填充过程。
UVtransfer - 概述
高性能系统提供无与伦比的精确，由高能 248 nm 紫外激光器驱动，可在大场径下实现高通量。
| 关键特性 | 优势 | UV转移 三合一系统 - 研发工具和技术 推动者 |
UV转移 - 批量生产 LIFT 工具 |
UV转移R - 批量生产维修 工具 |
完全自动化和全天候 使用 |
工业规模的大批量生产 |
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多功能性 |
只需 一次投资即可调查、优化和 验证三个流程 |
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大场径， 推进舞台概念 |
高吞吐量和 出色的系统效率 |
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支持从 50 μm 到 5 μm 的所有芯片尺寸 |
面向未来的技术。 |
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久经考验准分子激光器源 |
消除技术风险。 |
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深紫外线 |
兼容几乎所有 材料。 |
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Fab 集成 |
通过工厂 网络实现全面的系统控制，工业 4.0 就绪 |
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集成诊断 |
工艺 稳定性和可靠性高 |
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创新的 MicroLED 显示制造
Coherent 高意新型 UVtransfer 系统正利用激光剥离 (LLO)、巨量转移 (LIFT) 和激光修复来创新 MicroLED 制造。
