Lasermaschinen und Systeme
LineBeam
LineBeam Systeme sind die optische Schlüsseltechnologie für die Massenfertigung von LTPS-Backplanes auf großen Substratplatten mit höchster Ausbeute.
Liefern Sie Linienträgerprofile bis 1500 mm Länge für Plattengrößen bis Generation 10.5. Verfügen über Kurz- und Langachsen-Strahlhomogenität für maximalen Durchsatz und Strahlausnutzung. Hervorragende Pulsstabilität und hohe Tiefenschärfe, um ein großes Prozessfenster zu gewährleisten
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LineBeam – Wichtige Leistungskennzahlen
Profitieren Sie vom Rechteck-(“Top-Hat“) Strahlprofil der LineBeam Systeme mit hervorragender Homogenität in der kurzen und langen Achse, und das bei einer kurzen Wellenlänge von 308 nm oder 355 nm.
Produktspezifikationen
Parameter |
Werte |
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Linienlänge (mm) |
750 |
1000 |
1300 |
1500 |
Strahlprofiltyp |
Zylinder entlang beider Achsen |
|||
Fokustiefe (µm) |
±150 |
±120 |
±120 |
±120 |
Homogenität lange Achse (%) |
0,6 (2 σ) |
|||
Achsenhomogenität kurze Achse (%) |
0,8 (2 σ) |
|||
