반도체 제조
결함을 찾아 방지하고 low-κ 유전체와 같은 고급 재료를 처리하여 가장 진보된 트랜지스터 노드에서 레거시 노드까지의 제조를 지원합니다.
- 최고 해상도 다양한 단파장 레이저를 사용하여 최고 해상도로 작업합니다.
- 향상된 감도 더 높은 출력과 더 짧은 레이저 파장으로 결함 감지 감도를 높이고 더 빠르게 처리합니다.
- UV 신뢰성 Coherent의 탁월한 경험 덕분에 UV 및 DUV 레이저에서 탁월한 신뢰성을 누릴 수 있습니다.
웨이퍼 검사
속도 또는 향상된 감지 감도를 위한 고출력과 함께 가장 긴 작동 수명 및 가동 시간 특성을 제공하는 자외선 레이저 소스입니다.
마스크 라이팅
엑시머 및 광학 펌핑 반도체 레이저는 안정성과 신뢰성이 매우 높아 성숙한 노드를 위한 마스크 라이팅에 출력을 공급합니다.
마스크 검사
Fab 인증을 받은 신뢰성 높은 193nm 엑시머 레이저 및266nm DPSS 레이저, 그리고 가장 작은 레티클 결함을 일관되게 식별하는 이온 레이저입니다.
웨이퍼 어닐링
빠르고 정밀한 Dopant 활성화에 필요한 고출력 및 정확한 펄스 길이 제어 기능을 갖춘 가시광선 및 적외선 파장 레이저입니다.
웨이퍼 절단
강도 높은 다이를 생성하고 박리를 방지하며, 높은 처리량을 자랑하는 low-κ 유전체 스크라이빙 및 전체 절제 웨이퍼 절단을 위한 고출력 초단파 펄스 레이저입니다.
웨이퍼 마킹
파편이나 미세 균열을 일으키지 않고 고대비, 고해상도, 기계 판독이 쉬운 마크를 생성하는 가시광선 및 UV 파장 솔리드 스테이트 레이저입니다.
저온의 초경질 DLC 필름을 고속으로 만드는 새로운 Excimer 공정
University of Applied Sciences의 Mittweida 팀이 700~800GPa의 영 계수로 최대 70GPa의 경도를 달성하여 매우 높은 작동 내마모성을 어떻게 얻었는지 알아보십시오.
LEAP의 높은 펄스 에너지는 빠른 증착 및 어닐링을 가능하게 합니다. 안정적인 출력과 플랫 탑 빔 프로파일을 통해 증착 및 어닐링 프로세스 모두를 정밀하게 제어할 수 있습니다.
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