반도체 제조

결함을 찾아 방지하고 low-κ 유전체와 같은 고급 재료를 처리하여 가장 진보된 트랜지스터 노드에서 레거시 노드까지의 제조를 지원합니다.


  • 최고 해상도 다양한 단파장 레이저를 사용하여 최고 해상도로 작업합니다.
  • 향상된 감도 더 높은 출력과 더 짧은 레이저 파장으로 결함 감지 감도를 높이고 더 빠르게 처리합니다.
  • UV 신뢰성 Coherent의 탁월한 경험 덕분에 UV 및 DUV 레이저에서 탁월한 신뢰성을 누릴 수 있습니다.
Semiconductor Manufacturing Lasers

웨이퍼 검사

속도 또는 향상된 감지 감도를 위한 고출력과 함께 가장 긴 작동 수명 및 가동 시간 특성을 제공하는 자외선 레이저 소스입니다.

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