반도체 제조
결함을 찾아 방지하고 low-κ 유전체와 같은 고급 재료를 처리하여 가장 진보된 트랜지스터 노드에서 레거시 노드까지의 제조를 지원합니다.
- 최고 해상도 다양한 단파장 레이저를 사용하여 최고 해상도로 작업합니다.
- 향상된 감도 더 높은 출력과 더 짧은 레이저 파장으로 결함 감지 감도를 높이고 더 빠르게 처리합니다.
- UV 신뢰성 Coherent의 탁월한 경험 덕분에 UV 및 DUV 레이저에서 탁월한 신뢰성을 누릴 수 있습니다.

웨이퍼 검사
속도 또는 향상된 감지 감도를 위한 고출력과 함께 가장 긴 작동 수명 및 가동 시간 특성을 제공하는 자외선 레이저 소스입니다.

마스크 라이팅
엑시머 및 광학 펌핑 반도체 레이저는 안정성과 신뢰성이 매우 높아 성숙한 노드를 위한 마스크 라이팅에 출력을 공급합니다.

마스크 검사
Fab 인증을 받은 신뢰성 높은 193nm 엑시머 레이저 및 266nm DPSS 레이저, 그리고 가장 작은 레티클 결함을 일관되게 식별하는 이온 레이저입니다.

웨이퍼 어닐링
빠르고 정밀한 Dopant 활성화에 필요한 고출력 및 정확한 펄스 길이 제어 기능을 갖춘 가시광선 및 적외선 파장 레이저입니다.

웨이퍼 절단
강도 높은 다이를 생성하고 박리를 방지하며, 높은 처리량을 자랑하는 low-κ 유전체 스크라이빙 및 전체 절제 웨이퍼 다이싱을 위한 고출력, 초단파 펄스 레이저입니다.

웨이퍼 마킹
파편이나 미세 균열을 일으키지 않고 고대비, 고해상도, 기계 판독이 쉬운 마크를 생성하는 가시광선 및 UV 파장 고체 레이저입니다.

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